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基于AlN的MEMS变形镜仿真及驱动性能研究.PDFVIP

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  • 2018-12-14 发布于天津
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基于AlN的MEMS变形镜仿真及驱动性能研究.PDF

    基于AlN的MEMS变形镜仿真及驱动性能研究.PDF

    激光与光电子学进展 , ( ) « » ５５ ０８２２０４２０１８ C２０１８ 中国激光 杂志社 LaserOtoelectronicsProress ○ p g 基于 的 变形镜仿真及驱动性能研究 AlN MEMS , １∗∗ １ １２∗ , , 邵健 李琦 余洪斌 １

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