电子工业纯水系统的发展.pptVIP

* * * 反渗透的作用 3. 电子工业纯水系统：纯水制备、纯水输送与分配、纯水回收 二. 纯水系统的不断发展 现代电子工业纯水系统 纯水制备 系统 纯水输送及分配系统 纯水回收回用系统 纯水制造 （预处理-脱盐-抛光） 纯水的 输送与分配 纯水的回收 及处理 机台使用点 纯水回流20-50% 二. 纯水系统的不断发展 3. 电子工业纯水系统：纯水制备、纯水输送、纯水回收及处理 系统间的基本关系 反渗透的作用 3. 电子工业纯水系统：纯水制备、纯水输送、纯水回收 纯水的输送与分配 二. 纯水系统的不断发展 1.保证管路中没有死角 2.管路设计大循环配管 3.保证管道内流速 4.盲肠管段长度不大于管径的4~6D 纯水输送、分配管路设计应满足的条件 反渗透的作用 3. 电子工业纯水系统：纯水制备、纯水输送、纯水回收 纯水的输送与分配 二. 纯水系统的不断发展 管材选择 管道材质的溶出物低 内壁光洁度高 管道的配件及连接 可选择的管材 洁净聚氯乙烯（CL-PVC） 聚偏氟乙烯（PVDF） 洁净PP 机台 水质分辨 中继水槽 机台排水 优质水回收 不合格水排至 废水处理站 TOC RES 二. 纯水系统的不断发展 3. 电子工业纯水系统：纯水制备、纯水输送、纯水回收 纯水回