扩散新工艺实到验推广报告.pptxVIP

扩散新工艺实验 2015.5.18 实验背景： 优化工艺，提升效率。 step message 工艺设定时间/min GasFlow N2（slm） LN2（slm） LO2（slm） 0 STADNBY 0 5.0 0 0 1 BOAT IN 7 2.0 0 0 2 BOAT OUT 5 2.0 0 0 3 TESTING 0.5 6.5 0 0 4 HEAT UP 4 12.0 0 0 5 PREPURGE 2 12.0 0 1.0 6 DEPOSITION 17 12.0 1.0（0.95） 0.35 7 POSTPURGE 5 12.0 0.05 0.5 8 DRIVE IN 6 12.0 0.05 4.25（4.5） 9 DEPOSITION 2 12.0 1.0（0.95） 0.35 10 DRIVE IN 6 8.0 0.05 4.5（3.5） 11 COOLDOWN 3 12.0 0 0 12 BOAT IN 5 4.0 0 0 13 BOAT OUT 7 4.0 0 0 Recipe更改： 调整思路：降低总磷源流量，降低表面浓度，并且配合利用氧气增强扩散思路，提高开压和电流。 扩散工艺优化实验 1.1 小试实验结果 采用新工艺姊妹片验证，开压，电流有提升，效率较产线有0.022%的提升。 方案 电性能结果 效率提升 (%) 数量 (pcs) Voc (mV) Isc (A) Rs (mΩ) Rsh (Ω) FF (%) Eta (%) 方阻Ω/□ STD (%) 1 467 634.8 8.786 2.82 356 78.72 18.05 99 3.66 0.02 461 634.3 8.786 2.83 361 78.72 18.03 98 3.06 2 454 635.3 8.818 2.76 623 78.55 18.08 100 3.81 0.00 467 634.5 8.812 2.65 567 78.71 18.08 92 2.37 3 476 636.5 8.784 2.80 573 78.66 18.07 98 2.51 0.04 449 635.6 8.773 2.78 634 78.68 18.03 93 3.25 4 466 634.0 8.753 2.83 758 78.62 17.93 102 4.16 0.03 457 633.6 8.750 2.84 673 78.59 17.90 101 2.74 扩散工艺优化实验 新工艺推广后，std和和产线差异不大（增加0.12%），方阻平均值为97ohm/sq，返工和产线差异不大。 扩散工艺优化实验 1.1扩散工艺中试实验结果 分类 工艺切之前 工艺切之后 std 3.36 3.48 方阻 95ohm/sq 97ohm/sq 扩散std变化趋势 扩散返工情况 实验 0.24% 1.2大线数据 正常产线 0.27% 同期3.4.5线 备注：5.13号晚班开始在一二大线推广。 分类 方阻 平均 实验组 刻蚀前 98.2 97.5 105.2 103.4 97.7 94.8 100.4 刻蚀后 103.6 103.9 107.9 105.4 101.5 96.3 104.46 差异 5.4 6.4 2.7 2 3.8 1.5 4.06 baseline 刻蚀前 100.2 99.38 102.5 96.6 95.9 92.7 98.916 刻蚀后 103.8 102.5 105.9 102.6 101.1 97.7 103.18 差异 3.6 3.12 3.4 6 5.2 5 4.26 1.2 刻蚀后方阻上升情况 刻蚀后方阻上升和产线工艺差异不大。 扩散工艺优化实验 分类 Total Voc (mV) Isc (A) Rs (mΩ) Rsh (Ω) FF (%) Eta (%) Irev2 (A) Rs3比例 漏电比 3 Rs4比例 低效比17.0% 备注 时间 切线之前(1.2线) 571165 635.60 8.789 2.78 452 78.63 18.05 0.15 8.10% 0.24% 0.06% 0.39% 5.9-5.13 切线之后（1.2线） 410993 636.95 8.794 2.73 389 78.67 18.08 0.16 5.71% 0.24% 0.08% 0.32% 5.13-5.16 切线后同期（3.5线） 434159 636.00 8.792 2.71 333 78.63 18.07 0.17 3.14% 0.2