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基于SOPC的直线型超声电机驱动控制系统的研究-通信与信息系统专业论文

承诺书 本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师指导下,独立进 行研究工作所取得的成果。尽我所知,除文中已经注明引用的内容外, 本学位论文的研究成果不包含任何他人享有著作权的内容。对本论文所 涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体,均已在文中以明确方式标 明。 本人授权南京航空航天大学可以有权保留送交论文的复印件,允许 论文被查阅和借阅,可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库 进行检索,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。 (保密的学位论文在解密后适用本承诺书) 作者签名: 日 期: 南京航空航天大学硕士学位论文 摘 要 本课题来源于国家重点基础研究发展计划项目(973 计划) (2011CB707602);国家自然科学基 金项目。 直线超声电机是利用压电陶瓷材料的逆压电效应进行工作的一种新型电机,它不需要转换 机构就能产生直线运动,具有结构简单、响应速度快、分辨率高、断电自锁以及无电磁干扰等 优点。因此,在航空航天、纳米技术、仪器仪表和精密定位等领域直线超声电机都有着广阔的 应用前景。为了充分发挥直线超声电机的性能,研制出一套完善的驱动控制系统具有十分重要 的意义。 本文以双变幅杆 V 形直线超声电机为研究对象,设计了新型的驱动控制系统,该系统可以 同时控制多台电机实现微纳米级的精密运动。 驱动控制系统以 Altera 公司的 FPGA(型号:EP3C40Q240C8)为核心, 采用了基于 Nios II 软核的 SOPC 技术,把处理器、系统外设、DDS 信号发生模块、光栅反馈计数模块及 PID 控制 器模块都集成在 FPGA 中,从而大幅减少了驱动控制系统的体积,降低了系统功耗,也便于后 期系统的改动升级,具有很强的通用性。电机运行的位置信息由高精度光栅编码器反馈给 FPGA,构成一个完整的闭环控制系统。在软件设计方面,上位机发出指令,Nios II 处理器接 收分析该指令后,DDS 模块产生相应的驱动信号驱动电机运行,依靠对位置信息的实时采集, 实现对电机的精确控制。 在完成了驱动控制器的设计后,本文针对直线超声电机精密运动平台展开了实验研究。首 先测试了电机的最小步距,分析了不同驱动信号下电机的速度特性,通过 PID 算法对电机进行 了速度控制。然后使用连续运动与小步进逼近相结合的方案提高了平台的定位精度。最后,控 制多维直线超声电机精密平台完成了细胞穿刺等实验。实验结果表明,驱动控制系统能够同时 控制多个电机完成各自方向上的精密运动,其最小步距低于 50nm,定位精度为 0.36μm。在本 系统的控制之下,多维电机平台可以作为细胞操作手,用于生物工程等领域。 关键词:直线超声电机,驱动控制系统,精密平台,Nios,SOPC,FPGA I 基于 SOPC 的直线型超声电机驱动控制系统的研究 ABSTRACT The subject comes from the National Basic Research Program (973 program) (Fund number: 2011CB707602) and the National Natural Science Foundation (Fund number:. Because of using the converse piezoelectric effect of piezoelectric ceramic materials to work, linear ultrasonic motor does not need to transform organizations to produce linear motion. It has the advantages of simple structure, fast response speed, high resolution power, self-locking and no electromagnetic interference, etc. In this thesis, a new type of drive control system is designed for the double amplitude V linear ultrasonic motor which is the research object. The system can control the precision of electric motor to achieve nanoscale movement. Take the FPGA (model: EP3C40Q240C8) producing by Altera corporation a

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