基于SPPs的光束调控器件结构设计与性能分析-物理电子学专业论文.docxVIP

南京邮电大学学位论文原创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。 尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过 的研究成果，也不包含为获得南京邮电大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 本人学位论文及涉及相关资料若有不实，愿意承担一切相关的法律责任。 研究生签名： 日期： 南京邮电大学学位论文使用授权声明 本人授权南京邮电大学可以保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子文 档；允许论文被查阅和借阅；可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索； 可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编本学位论文。本文电子文档的内容和纸质 论文的内容相一致。论文的公布（包括刊登）授权南京邮电大学研究生院办理。 涉密学位论文在解密后适用本授权书。 研究生签名： 导师签名： 日期： 摘要 表面等离子体激元是一种由光子与金属表面的自由电子相互作用而形成的激发态，能实 现亚波长结构中的光约束，突破衍射极限的限制，显著缩小光子器件的尺寸，在新型光子器 件、高分辨率光学成像、纳米光刻等诸多领域具有广阔的应用前景。 本文在表面等离子体激元的理论基础上，研究了基于表面等离子体激元的几种滤波器件， 实现了不同波长的带阻滤波功能和金属/介质/金属（MIM）波导的双通道分光系统，完成的 主要工作如下： 1. 根据电磁场理论，对 Kretschmann 结构中激发表面等离子体激元的几种因素进行了分 析。在此基础之上，提出了采用单层金属薄膜的带阻滤波结构，分析了此结构的滤波特性。 结果表明通过材料和结构参数的选择，可实现波长（600nm-1800nm）可调的带阻滤波功能。 2. 对 MIM 波导中传播的电磁场模式进行了分析，在介质层宽度为 50nm 的条件下获得了 表面等离子体激元的 TM0 模。根据侧耦合腔的滤波器的理论，分析了结构参数对滤波器的滤 波特性的影响，提出了对称矩形腔滤波器和单边双矩形腔滤波器的结构。有限元数值仿真结 果表明，这两种结构都能实现波长在 700nm-1800nm 范围内参数可调的滤波功能。 3. 设计了一种基于 MIM 波导的双通道可调分光系统，通过调节耦合腔的长度、宽度、 耦合距离等参数，可实现波长选择和光束分离功能。 关键词: 表面等离子体激元，金属/介质/金属波导，滤波器，有限元法 I Abstract Surface plasmon polaritons(SPPs) is excited by the interaction of light wave and free electrons in metals. It has the property of energy localization and can break the diffraction limit. SPPs has broad application prospects in photonic devices, high resolution optical imaging, nano lithography and so on. Based on the theory of SPPs, several optical filters and a kind of new wavelength demultiplexer is proposed.The main works are as follows: Introduce the theory of SPPs excitation by Attenuated Total Reflectance(ATR) method. Research the excitation effect by different parameters. Based on the result , a band-stop filter is proposed and numerically simulated. The filter is simply composed by a thin layer of metal film and two layers of dielectric medium. Research the EM field mode in Metal-Insulator-Metal(MIM) waveguide. Then the rectangle resonance cavity filter based on MIM waveguide is analysed. Through numeric