第六部分功能薄膜及其对制备方法.pptVIP

功能薄膜及其制备方法 采用某种工艺，在一定的基体表面上形成厚度在1000nm以内材料，称为薄膜。功能薄膜之所以成为研究的热点，并且具有广阔的应用前景，是与薄膜材料的以下特点密切相关：(1) 许多情况下，材料功能的发挥和作用发生在材料的表面。例如化学催化作用、光学反射、场致发射、热电子逸出等等物理化学现象。使用功能薄膜材料比使用体块功能材料不仅保护资源而且减低成本。(2) 薄膜材料往往具有一些其块体材料所不具备的性能。这是因为薄膜材料容易形成细晶、非晶状态；薄膜材料容易处于亚稳态；薄膜往往偏离化学计量比；特殊的材料表面能态等等。对每一类甚至每一种功能薄膜的研究状况作出全面完整的评述是困难的。目前实际应用和潜在应用前景良好的几类功能薄膜材料如下。 超导材料 3 超导材料 1.1 超导薄膜 1986 年以前，超导材料的最高临界温度只有23.2 K。1986 年IBM 公司苏黎世实验室的Bednorz和Muller报导发现无机化合物La2-xBaxCuO4-δ在30 K 下发生超导转变，接着在世界各地很快发现YBa2Cu3O7-δ系列的超导转变温度可高达90 K，于是引发世界范围的高温超导（HTS）体研究热潮。很快这一研究热潮扩大到了高温超导薄膜，成为电子材料研究领域中的一个热门课题。 至今，已发现了大量的銅酸盐高温超导相化合物薄膜，它们的超导临界转变温度（Tc）从18 K～135