ADI公司的革命性MEMS开关技术基本原理.PDFVIP

技术文章 | LinkedIn | ADI公司的革命性 MEMS开关技术基本原理 作者：Eric Carty、Padraig Fitzgerald和Padraig McDaid ADI公司 公司停滞不前。Foxboro Company是最早开始MEMS开关研究的 摘要 公司之一，其于1984年申请了世界最早的机电开关专利之一。 ADI公司自1990年开始通过一些学术项目涉足MEMS开关技术研 本文介绍ADI公司突破性的微机电系统(MEMS)开关技术。 究。到1998年，ADI公司终于开发出一种MEMS开关设计，并根 与传统机电继电器相比，ADI公司的MEMS开关技术使RF 据该设计制作了一些早期原型产品。2011年，ADI公司大幅增 和DC开关性能、可靠性及小型化实现了跨越式发展。 加了MEMS开关项目投入，从而推动了自有先进MEMS开关制 造设施的建设。现在，ADI公司已能够满足业界一直以来的需 求：量产、可靠、高性能、小尺寸的MEMS开关取代衰老的继 简介 电器技术。 过去30年来，MEMS开关一直被标榜为性能有限的机电继电器 ADI公司与MEMS技术有着深厚的历史渊源。世界上第一款成功 的出色替代器件，因为它易于使用，尺寸很小，能够以极小的 开发、制造并商用的MEMS加速度计是ADI公司于1991年发布的 损耗可靠地传送0 Hz/dc至数百GHz信号，有望彻底改变电子系 ADXL50加速度计。ADI公司于2002年发布第一款集成式MEMS陀 统的实现方式。这种性能优势会对大量不同的设备和应用产生 螺仪ADXRS150 。以此为开端，ADI公司建立了庞大的MEMS产品 重要影响。在MEMS开关技术的帮助下，很多领域都将达到前 业务和无可匹敌的高可靠性、高性能MEMS产品制造商声誉。 所未有的性能水准和尺寸规格，包括电气测试与测量系统、防 ADI公司已为汽车、工业和消费电子应用交付了逾10亿只惯性 务系统应用、医疗保健设备。 传感器。正是这种优良传统所带来的经验和信念将MEMS开关 技术变为现实。 MEMS开关基本原理 ADI MEMS 开关技术的关键是静电驱动的微加工悬臂梁开关元件 概念。本质上可以将它视作微米尺度的机械开关，其金属对金 属触点通过静电驱动。 开关采用三端子配置进行连接。功能上可以将这些端子视为源