锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究.PDFVIP

第 43 卷 第 4 期 红 外与激 光 工程 2014 年 4 月 Vol.43 No.4 Infrared and Laser Engineering Apr.2014 锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究 周 炜 ，欧阳程 ，吴 敬 ，高艳卿 ，黄 志明 ( 中国科学院上海技术 物理研究所 红外物理国 家重点实验室，上海 200083) 摘 要： 报道 了锰钴镍铜氧薄膜(Mn Co Ni Cu O ，MCNC ，x=0,0.08,0.16,0.24）的红外探测器件的制 1.56 0.96-x 0.48 x 4 备过程及器