基于petri网与遗传算法的半导体生产线建模与优化调度研究-控制理论与控制工程专业论文.docxVIP

摘要摘要 摘要 摘要 半导体制造业是信息时代的基础产业，其生产调度问题一直受到理论界 和控制界广泛关注。半导体生产调度目的是不增加或少增加投入的情况下， 通过充分组合和利用现有资源，提高企业竞争力，在满足交货期和产品质量 基础上，尽量使制造周期缩短、设备的利用率提高、产量增加。由于半导体 生产线是典型多重入复杂的制造系统，具有可重入性、复杂性、不确定性、 多目标和多约束等特点，采用常规技术难以取得良好的优化调度效果，需要 研究一种新的方法来提高生产系统的性能。 鉴于半导体生产线的上述特点，本文提出了一种基于Petri网和GA算法 的半导体生产线优化调度方法，可解决半导体生产线的综合优化调度与控制 问题。 本文的主要工作如下： 1．系统评述了国内外半导体生产线调度的建模方法和调度策略的研究 进展，分析和讨论它们各自的主要优缺点和适用范围，给出了研究半导体生 产线优化调度的理论意义和实际应用。 2．在深入了解半导体制造过程的基础上，为了有效分析半导体生产线 调度与控制性能，提出了有色赋时Petd网的半导体生产线建模方法。该模 型，根据生产线所存在主要调度子问题及其之间的相互关系，将半导体生产 线划分为投料控制模块、路径调度模块和工件调度模块，这样可以有效降低 模型的复杂性和提高模型的可重用性。并结合案例探讨其在半导体生产线调 度中的建模与应用。 3．针对半导体生产线调度NP难问题，将遗