晶体硅太阳能电池培训-扩散.ppt

卫生要求 按照工艺要求装卸片，注意装卸片的方向，装片和测量方块电阻时绝不允许用手碰硅片，装片是要将硅片插到石英舟的底部，不允许让硅片沿着石英舟两边的槽从高处掉落，否则硅片与石英舟的底部产生撞击，会造成装片和扩散时的碎片。 进入扩散间前必须经风淋门风淋15s，进入扩散间时要将里外的两扇风淋门轻柔的关好。 扩散间传递窗的里外两扇门不能同时打开，开门是不能用力过大，防止传递窗门破裂，绝不允许通过传递窗进行交谈。 做好扩散间的6S工作并时刻保持。 按照工艺要求换源，换源时必须两人共同参与，一人作业，一人监护检查，换源后必须按照工艺要求先检查后使用，加强安全防护，拿取源瓶及检查源瓶时必须戴防毒面具和乳胶手套，保证源瓶在恒温箱中不发生倾倒现象。非换源及非巡检时，扩散炉的气柜门一定要关闭  化学品知识及安全措施三氯氧磷POCL3 1、理化性质:三氯氧磷遇水或水蒸气剧烈反应生成磷酸与氯化氢等有毒的腐蚀性烟雾，对皮肤、粘膜有刺激腐蚀作用。三氯氧磷可引起急性中毒，在短期内吸入大量三氯氧磷蒸气可引起上呼吸道刺激症状、咽喉炎、支气管炎、严重者可发生喉头水肿窒息、肺炎，亦可发生贫血、肝脏损害。口服三氯氧磷可引起消化道灼伤，长期低浓度接触可引起口、眼及呼吸道刺激症状。 2、三氯氧磷的物理性质：无色透明易挥发液体，有辛辣气味，熔点2℃，沸点105℃密度1.68g/ml,能溶于醇。 3、三氯氧磷的化学性质：（1）硅片上渗入磷，形成PN结 5POCL3→3PCL5+P2O5 4PCL5+10CL2→ 2P2O5+10CL2 2P2O5+5SiO2→5SiO2+4P 3、仓库储存 储存环境：存放于通风良好、安全且避免日光、雨的地方，包装必须密封，切勿受潮。 存储温度为：3℃到40℃范围之内，相对湿度不超过75%。 储存区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。 4、三氯氧磷的注意事项 勿与水、水蒸气、皮肤、眼睛等含水的物体接触，应保存在阴凉干燥处，避免受热分解。 5、个人使用时注意防护事项 日常工作穿戴：工作服、一次性口罩、一次性手套 源瓶换装及破裂时穿戴：防酸服、橡胶耐酸手套、空气呼吸器 6、急救措施 皮肤接触：尽快用软纸、干毛巾或棉花等擦去毒物，继之用3%碳酸氢钠溶液浸泡，然后用水彻底冲洗。就医。 眼睛接触：立即提起眼脸，用流动清水冲洗15分钟。就医。 吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。呼吸困难时给输氧，呼吸停止立即进行人工呼吸。就医。 食入：患者清醒立即漱口，给饮牛奶及蛋清。立即就医。 盐酸HCL 1、盐酸的物理性质：无色易挥发液体，有刺鼻的酸味，沸点108℃，密度1.2g／ml,与水混溶。属于酸性腐蚀品。 2、盐酸的化学性质:a.显强酸性，使石蕊、PH试纸变红，遇酚酞呈无色。b.跟碱发生中和反应:HCL+NaOH=NaCL+H2O 3、盐酸的用途：重要的化工原料，广泛用于染料、医药、皮革、冶金、电镀、硅片清洗等行业。 4、注意事项：储存于阴凉、干燥、通风处，应与碱、金属、易燃物、氧化剂等分开存放，不可混储混运，生产作业要注意个人防护，防护眼镜、橡皮手套、口罩都要戴好。因为它具有强腐蚀性，强刺激性，可致人体灼伤。 5.急救措施 皮肤接触：立即用水冲洗10分钟，或用2%小苏打溶液冲洗，若有灼伤，就医治疗。 眼睛接触：立即提起眼脸，用流动清水冲洗10分钟，或用2%小苏打溶液冲洗，就医。 呼吸进入：迅速脱离现场至空气新鲜处，呼吸困难时输入氧气，可进行人工呼吸。 氢氟酸 1、HF物理性质：氢氟酸是氟化氢的水溶液，为无色透明易挥发的液体。有刺激性气味。相对密度为1.15-1.18g∕cm3.沸点112.2℃，市售通常浓度约为47%。 2、化学性质：具有弱酸性，腐蚀性强，对牙、骨损害较严重。对硅的化合物有强腐蚀性。氢氟酸能够溶解很多其他酸都不能溶解的玻璃（二氧化硅），反应方程式如下 SiO2+6HF→H2SiF6+2H2O 能腐蚀硅片Si+4HF=SiF4+2H2 3、用途：由于氢氟酸溶解氧化物的能力强，氢氟酸也用来蚀刻玻璃，半导体工业使用它来除去硅表面的氧化物。 4、毒理学简介：对皮肤有强烈刺激性和腐蚀性。氢氟酸中的氢离子对人体组织有脱水和腐蚀作用，而氟是最活泼的非金属元素之一。皮肤与氢氟酸接触后，氟离子不断解离而渗透到深层组织，溶解细胞膜，造成表皮真皮、皮下组织乃至肌层液化坏死。 估计摄入1.5g氢氟酸可致立即死亡。吸入高浓度的氢氟酸酸雾，引起支气管炎和出血性肺肿。 注意事项 应储存于阴凉、通风仓库内，远离火种、热源，防止阳光直射，应与碱类、金属、可燃物、发泡剂等分开存放，可能接触其蒸气时，必须佩戴防毒面具、防护眼镜、穿防腐工作服、橡胶手套，工