传感技术课件 (9).ppt

8.4 声表面波传感器技术 任何量只要能引起 v、l或 lp发生变化，就会使SAW振荡器的振荡频率发生变化。通过振荡电路检测出振荡频率的变化就可以建立起频率偏移与待测量之间的关系。 若在两又指电极或反射栅之间覆一层对某种气体或湿度敏感的材料就可制成SAW气体或湿度传感器。 现代传感器技术 * 8.4 声表面波传感器技术 无源遥测是SAW传感器的一大优势，从结构上看，无线SAW传感器也可分为延迟型和谐振型两种，但工作原理不同于一般的SAW传感器，以延迟型为 现代传感器技术 * 例，传感器由压电基片、叉指换能器、反射栅及读写器（高频激励∕接收装置）组成。工作时读写器发射出脉冲激励信号，由敏感基片的天线接收无线信号，并通过IDT将电磁信号转换为声表面波。声表面波经过一段延迟后由反射栅反射回来，再通过IDT将信号转换为电磁波信号，并经天线发射出去，再由读写器接收处理。 8.4 声表面波传感器技术 脉冲信号从发射到接收的返回时间主要由读写器与IDT天线的距离、IDT与反射栅之间的距离以及声表面波波速来决定，即脉冲信号从读写器发射到回收的传播时间为： 在遥测时，读写器与敏感基片之间距离的变化也会引起传播时间的变化，为解决这一问题，在基片上设置多个反射栅，反射栅之间的时延只反映器件本身的状态，而不受读写器与敏感基片之间距离的影响。在实际测量中，由于时延值非常小，常采用测量相位的方法来代替对时延的测量 . 现代传感器技术 * 8.4 声表面波传感器技术 如果相应位置上的反射栅被布置或抽取，则该位置上的脉冲可表示编码“1”或“0”，相同结构的器件就变成了用于目标辨识的SAW标签（ID-Tag）。 虽然目前SAW辨识标签没有实时改写的功能，但与其它类型的辨识标签相比，具有误码率低、读取时间快、作用距离远、不受光遮盖和读取方向影响、可在金属液体表面读取等优点，因而SAW标签是对IC射频标签的一个有力补充。 现代传感器技术 * 8.4 声表面波传感器技术 SAW传感器信号检测 现代传感器技术 * SAW传感器信号检测与处理电路框图 压力信号 输出 被测量环境温度 SAW振荡器1 SAW振荡器2 放大器 频率测量 微处理器 低通滤波器 混频 8.4 声表面波传感器技术 SAW传感器信号检测 现代传感器技术 * 发射接收系统框图 8.4 声表面波传感器技术 SAW传感器信号检测 现代传感器技术 * 正交相位检波原理 8.4 声表面波传感器技术 SAW传感器的温度补偿 一 选择零温度系数切型 二 差动法 三 数字补偿法 四 浮动零点法 现代传感器技术 * 8.4 声表面波传感器技术 SAW传感器特点 1）高精度，高灵敏度； 2）准数字输出 ； 3）微型化，低功耗； 4）便于实现无线、无源化 ； 5）多参数敏感性，抗干扰能力强； 6） 结构工艺性好，便于大批量生产 现代传感器技术 * 声表面波陀螺仪（角速率传感器） SAW 气体传感器 8.4 声表面波传感器技术 类型 1 物理量传感器： 力(压力、应力)传感器、扭矩传感器、加速度传感器、 角速度传感器（陀螺）、温度传感器、位移传感器、倾斜度传感器、磁场传感器、电压传感器、流量传感器、水声传感器等 2 化学量传感器： 气体传感器、露点传感器、湿度传感器、微质量传感器(微量天平)等； 3 生物传感器： 酶传感器、免疫传感器、液体识别传感器、离子识别传感器等。 现代传感器技术 * 本章内容 8.1 概述 8.2 声表面波技术基础知识 8.3 研究声表面波的基础理论 8.4 声表面波传感器技术 8.5 典型声表面波传感器及应用 现代传感器技术 * 8.5 声表面波传感器的应用 Vibration and Acceleration SAW Sensor Torque SAW Sensor Flow SAW Sensor SAW Gyroscope Liquid SAW Sensor Gas SAW Sensor Applications of SAW Device in Automobile 现代传感器技术 * 8.5 声表面波传感器的应用 Vibration and Acceleration SAW Sensor 现代传感器技术 * 8.5 声表面波传感器的应用 Torque SAW Sensor 现代传感器技术 * 8.5 声表面波传感器的应用 Flow SAW Sensor 现代传感器技术 * 8.5 声表面波传感器的应用 SAW Gyroscope 现代传感器技术 * 8.5 声表面波传感器的应用 Liquid SAW Sensor 现代传感器技术 * 8.5 声表面波传感器的应