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铜阴极溅射辉光放电在强短脉冲供电时的发射光谱研究
Vol. 12 分析科学学报 No . 3
1996
艹 X
弓振斌 周 振 杨凡原 王小如 黄本立
( , , , 361005)
任建世 马洪波 陈 明 张功杼
( , , 110015)
本 究工作以强短脉冲供电和直流供电时辉光放电的伏安特性为基础, 详细 究
了强短脉冲供电时的电流、脉冲频率、脉冲宽度以及Ar 气压力对原子线和离子线强度的
影响. 实验结果揭示了大电流强短脉冲供电时辉光放电发射光谱的现象 .
强短脉冲供电( ) 辉光放电发射光谱( - ) 伏安特性 离子线
HCMP GD OES
原子线
[ 1]
Grimm , ( GD-
[ 2, 3] [ - 6]
OES) . ,
( ) [ 7- 10] , - [ 11- 1 ] .
MS GD M S
,
[ 1] [ 15, 16] [ 7]
( HCMP) [ 17- 19] .
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Boxcar . 1. ,
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: 1995- 07- 06
175
Table 1Instrumentation
Components M odel Manufactory
-
HCMSP pow er Labor atory built
-
GD source Labor atory built
SPM- 2
Monochromator Zeiss
EM I 5892Q
PMT
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High voltag e
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