太阳能电池片工艺流程.pptVIP

太阳能电池片结构 太阳能电池分为单晶电池和多晶电池，但是它们的结构基本一样，都有以下部分组成 表面细栅线 表面主栅线 绒面 蓝色氮化硅 扩散层 铝硅形成背面 硅基体 太阳能电池片工艺流程 分选测试 PECVD 清洗与制绒 去磷硅玻璃 烧结 印刷电极 边缘蚀刻 检验入库 扩散 清洗与制绒 目的：去除硅片表面的机械损伤层及表面油污，形成起伏不平的绒面，增加硅片对太阳光的吸收。 原理 单晶：利用碱溶液对单晶硅各个晶面腐蚀速率的不同，在硅片表面形成类似金字塔状的绒面 Si+2NaOH=NaSiO3+2H2 多晶：利用硝酸的强氧化性和氢氟酸的络合性，对硅片进行氧化和络合剥离，导致硅表面发生各向同性非均匀性腐蚀，从而形成类似凹陷坑状的绒面 Si+4HNO3+6HF=H2SiF6+4NO3+4H2O 流程： 清洗与制绒 1、单晶制绒 预清洗-碱蚀刻—DI water清洗-HCL中和硅片表面残余的碱液 （去除金属杂质）-DI water清洗-去除二氧化硅层 形成Si-H钝化键--DI water清洗-烘干 2、多晶制绒： 预清洗-初步蚀刻（硝酸、氢氟酸）-DI water清洗-NaOH去除残留物（中和酸液）--DI water清洗-HF/HCL去除金属离子和硅片