蔡司CSM700 3D共聚焦显微镜操作手册(修改)..docVIP

Axio CSM 700真实色共聚焦显微镜 非接触式三维测量显微镜 系统介绍: Axio CSM 700真实色共聚焦显微镜以共聚焦光学为基本原理，使用高速线扫描为成像方法，并采用氙灯为真实色光源，是一款能够快速提供工业零部件表面彩色三维轮廓，并且完全不接触测试样品的仪器设备。它具有三大“独门绝技”：共聚焦、线扫描、白光源。 由于采用了共聚焦成像原理，Axio CSM 700将传统光学分辨率提高1.4倍，其XY方向线分辨率达到160 nm。同时，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基础上，Axio CSM 700配备了精度高、重复性好的Z轴自动步进装置，最小步进精度达到10nm，这使得高度上亚微米，甚至纳米尺度的非接触式精确测量成为可能。 传统共聚焦采用点扫描成像，速度较慢；而Axio CSM 700采用线扫描，成像速度大大提高，最快的WF模式扫描速度超过100幅/秒，可以说瞬间即可得到测量结果，大大提高工作效率。 同时，Axio CSM 700使用白色光源，能够展现被测试样表面的真实颜色，从而将传统黑白共聚焦扫描显微镜拓展到更广阔的应用领域。 图 1 实验室系统分部图 线扫描共聚焦成像原理 1 1 2 3 4 5 图2 显微镜光路图 氙灯照明器1发出的白光经过线性照明器2变成一组线光源，该组线光源随着2的精