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WAT 测量项目以及测试方法 2008/03/07 WAT Introduction WAT是什么 WAT系统介绍 3. WAT测试项目及方法 Wafer Acceptance Test（晶片允收测试） 半导体硅片在完成所有制程工艺后，针对硅片上的各种测试结构所进行的电性测试。 通过对WAT数据的分析，我们可以发现半导体制程工艺中的问题，帮助制程工艺进行调整。 WAT是什么? WAT系统介绍 Manual Prober Agilent 4284A CV Meter Agilent 4156A IV Meter Cascade Manual Prober WAT系统介绍 Agilent 4070 system TEL P8XL Agilent 4070 WAT系统介绍 HP 4070 Server Agilent 81110A Pulse Generator Agilent 4284A CV Meter Agilent E4411B Spectrum Analyzer Agilent 4070 内部结构 Agilent 3458A Digit Multimeter Wafer Auto-Prober Relay Metric Server EDA Server Test Key Probe card SMU PIN No Data D