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微型致动器之设计制作及分析.PDFVIP

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  • 2018-12-29 发布于天津
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微型致动器之设计制作及分析.PDF

    微型致动器之设计制作及分析

    微型致動器之設計製作及分析 # * # 林彥亨 李國賓 謝宸碩 國立成功大學工程科學系 * # 助理教授 研究所學生 MML NCKU MEMS design and Micro- Outline • MCNC表面微細加工（Surface micromachining ）代 工製程簡介 • 靜電力（electrostatic force ）驅動致動器及其應用 • 熱膨脹力（thermal force ）驅動致動器及其應用 • 抓刮式SDA （Scratch drive actuator ）驅動致動器及 其應用 • 結論

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