X射线荧光光谱分析XRF.pptVIP

第三章 化学成分分析 本章主要内容 1．X射线荧光谱分析（XRF） 2. 电子探针（EPMA） 3．原子吸收光谱分析（AAS） 4．等离子发射光谱（ICP） 引言 化学成分分析的方法主要有化学分析、物理分析。 化学分析 特点: 历史悠久，分析精度高，一个独立学科。 缺点： 样品需破坏，分析时间较长，不能进行微区分析。 物理分析方法，包括光谱类分析（X射线荧光光谱、等离子发射发光谱、原子吸收光谱、原子荧光光谱法等）及电子探针分析。 特点：1）非破坏的方法 ；2）绝大多数物理分析方法的分析区域很小 ；3）物理分析方法多为表面分析方法；4）分析速度快；5）灵敏度高，可测出痕量元素。 X射线荧光光谱分析（XRF） 1. X-射线荧光的产生及分析原理 2. X-射线荧光光谱仪的类型 3. X射线荧光光谱分析方法的应用 4. X射线荧光光谱仪制样方法 5. X射线荧光光谱法的特点 1. X-射线荧光的产生及分析原理 （1）X射线荧光的产生 原子中的内层（如K层）电子被X射线辐射电离后在K层产生一个空位。外层（L层）电子填充K层孔穴时，会释放出一定的能量，当该能量以X射线辐射释放出来时就可以发射特征X射线荧光。 荧光产额 俄歇效应与X射线荧光发射是两种相互竞争的过程。对于原子序数小于11的元素，俄歇电子的几率高。 荧光产额 各谱线的荧光产额K、L、M、N系列的顺序递减。因此原子序数小于55的元素通常用K系谱线作分析线，原子序数大于55的元素，考虑到激发条件，连续X射线和分辨率等因素，一般选用L系作分析线。 2. X-射线荧光光谱仪的类型 波长色散型（WDXRF）：指使用晶体分光的波长色散型光谱仪，效率较低，一般采用大功率光管激发。 用于高精度高灵敏度定量分析。 能量色散型（EDXRF）：以带有半导体探测器和多道脉冲高度分析器为特征的X射线荧光光谱仪，探测效率高，一般采用放射源或小功率光管激发（几瓦到几十瓦）。用于执行快速定性分析和低水平定量分析。 2.1 波长色散型X射线荧光光谱仪 由X光管、滤波片、样品杯、分光晶体、探测器、多道分析器计数电路和计算机组成。 （4）准直器 (Collimators) 检测器 （Detector） 通常用作测量X射线的探测器具有如下特点： 在所测量的能量范围内具有较高的探测效率，如在波长色散谱仪中用流气式正比计数器测定超轻元素时，入射窗的窗膜应尽可能用1um或更薄的膜，减少射线的吸收。 具有良好的能量线性和能量分辨率。 具有较高的信噪比，要求暗电流小，本底计数低。 具有良好的高计数率特性，死时间较短。 输出信号便于处理，寿命长、使用方便。 （7）记录显示 波长色散型X射线荧光光谱仪扫描图 波长色散光谱仪的特点 （1）用单晶体或多层薄膜分光，使多色光谱色散成单色谱线；使所选波长进入探测系统中经光电转换和二次分光，获得高分辨率； （2）在4 Z 92（Be – U）范围内所有元素的光谱均具有很高的分辨率； （3）定性与定量分析的精度和灵敏度高； （4）高能端（Ag/Sn/Sb K系光谱），分辨率不如能量色散。 2.2 能量色散型X射线荧光光谱仪 能量色散光谱仪的特点 （1）用 Si(Li)探测器同时测量和显示所有元素的光谱，适用于Na(11)～U(92)范围元素的快速定性定量分析； （2）用探测器的正比特性直接进行光谱分光，不需要使用分光晶体，仪器造价低，价格便宜。 （3）激发的荧光强度低，所有元素的最大计数率不超过 20000 计数/秒，仪器灵敏度差； （4）高能端(Ag/Sn/Sb K系光谱)，分辨率优于波长色散；中能端(Fe/Mn/Cr K系光谱)，分辨率相同；低能端 (Na/Mg/Al/Si K系光谱)分辨率不如波长散射。 能量色散型X射线荧光光谱图 3 X射线荧光光谱分析方法的应用 3.1 定性分析 3.2 定量分析 3.3 元素分布 3.4 全反射XRF分析 某材料固化Fe2O3废物前后的化学成分分析 吸附模拟放射性元素Sr前后的化学成分分析 3.3 元素分布 X射线的限束功能 ，辐照束斑直径减小到1mm 对任何指定区域进行小面积逐点进行元素测定 形成X射线荧光光谱的元素分布图 3.4 全反射XRF分析 表面灵敏性，可以检测表面几个原子层厚度 检测灵敏性，可以检测到108原子/cm2 定量分析效果好 可以进行表面扫描 微电子芯片材料的表面金属污染的检测 4. X射线荧光光谱仪制样方法 形态：试样可以是固体、粉末、压制片、玻璃、滤纸或液体。 典型试样是直径为32mm的，或置于特定的杯中，保持器和安装架中。 取样深度（临界厚度）范围从几微米到1mm或更深，取决于所用X射线能量和试样的基体成分。 分析试样的制备比较简单，如抛光以得到一平面，或研磨和制片，或