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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ( $ %%1 $ ， ， ， LJ= ,( )J ,$ TDFE %%1 （ ） !%%%81%P%%1P( %$ P’!%1% O9QO 5NR*S9O *S)S9O !%%1 9G+F , 5G@. , *J/ , 微波!# 磁控溅射制备$% 薄膜的’($ 结构研究! ! ）） ） ） ） ）