原创力文档日本燃学会第号年原著文薄膜燃合成基板温度影一成速度品状新雅仁江上智昭牧野敦荒木信幸沼津高等学校沼港市大静大学大学院理工学研究科浜松市城北宇宙航空研究布市深大寺旬副静大学工学部浜松市城北年月日受付年月日受理巴陀司燃炎法低法主流法化学相成言法火炎源反活性低下薄膜合成年材化用方法年告研究所法成功大方法当量比以上酸素前在切削工具音部火炎元性内炎中基板入基板品分野表面薄膜合成特用化近年半体素子大放下合成可能反容器必要作成功用装置便他法比合成速度最大数十倍程度速平面火炎使用析出面大面化可能平面火炎一次元性有
日本燃焼学会誌第46巻 137号 (2∞4年) 169-175 JournaloftheCombustionSocietyofJapan
VoI.46No.137(2004)169-175
-原著論文/ORIGINALPAPER.
ダイヤモンド薄膜の燃焼合成における基板温度の影響
一成長速度と結品状態について-
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