EOS验证与失效分析报告.docVIP

实用标准文案 精彩文档 EOS驗證與失效分析 賴國印 失效分析與終端品質管理 全球製造 摘要 FAE遇到元件失效時，若因無元件失效分析之能力，將失效元件送回廠商分析，但元件廠商的回覆報告有極大部分的失效原因為EOS 所導致， 造成時間和成本的浪費。本文探討EOS之成因且對元件之失效分析應執行的驗證及處理流程，透過案例研討，期有效幫助工程師判斷電子元件失效的原因是否為EOS所造成，進而找到根本原因(Root Cause)。避免因EOS造成之失效元件送廠商分析所產生的時間和成本的浪費。 一. 前言 EOS 是Electrical Overstress的簡稱，其造成電子元件失效之原理如同過電流流過保險絲產生熱能保險絲燒斷為相同的道理。在大多數的失效案例中電子元件內部電路與地(GND) 或不同電位點之間形成短路，產生過電流而造成元件損壞為大多數電子元件失效的主要因素。 此外有人會對EOS與ESD產生混淆，簡言之， ESD也是EOS的一種，但因ESD對電子元件的損害，其嚴重程度與能量大小有關。如果能量較小，可能只導致電子元件輕微的損壞影響其可靠度，並未造成立即的功能不良， 如果能量較大，可導致電子元件被擊穿或形成過電流對元件形成永久性損壞甚至燒毀，就是EOS。 如下圖，為利用光學顯微鏡(圖A，B)及SEM(圖B，C)看到EOS的不良現象 圖 A