双材料微梁阵列非制冷红外成像系统———微梁阵列设计和.PDFVIP

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2018-12-29 发布于湖北
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双材料微梁阵列非制冷红外成像系统———微梁阵列设计和.PDF

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第 24卷第 6期红外与毫米波学报 Vol. 24 , No. 6 2005年 12 月 J. Infrared M illim. W ave s D ecember, 2005 文章编号 : 100 1 - 9014 (2005) 06 - 0409 - 06 双材料微梁阵列非制冷红外成像系统 ———微梁阵列的设计与制作 1 1 1 1 1 2 2 1 董凤良 , 　张青川 , 　伍小平 , 　潘　亮 , 　郭哲颖 , 　陈大鹏 , 　王玮冰 , 　段志辉 ( 1. 中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室 ,安徽合肥　230027; 2. 中国科学院微电子研究所 ,北京　100029) 摘要 :给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件 ———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作. 微梁阵列是无硅基底的 SiN x/Au双材料单层膜结构 ,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像. 实验使用了设计制作的 ( ) 140 ×98微梁阵列和高信噪比的 12 b it CCD ,得到 120 ℃以上的物体热像 ,噪声等效温度差 N ETD 为 7K左右 ,实验结果与热机械模型预测结果一致. 关　键　词 :非制冷红外成像 ;光学读出;双材料微悬臂梁阵列中图分类号 : TN 2 16　　文献标识码 : A B IM ATER IAL M ICRO CANT IL EVER UNCOOL ED INFRARED IM AGING SY STEM ———D ESIGN AND FABR ICAT ION O F M ICRO CANT IL EVER ARRAY 1 1 1 1 1 DON G FengL iang , 　ZHAN G Q ingChuan , 　WU X iaoP ing , 　PAN L iang , 　GUO ZheYing , 2 2 1 CH EN D aPeng , 　WAN G W eiB ing , 　DUAN Zh iHu i ( 1. CA S Key L aboratory of M echan ical B ehavior and D e sign of M aterials, U n iversity of Science and Technology of Ch ina, H efei 230027 , Ch ina; 2. In stitute of M icroelectron ic s, Ch inese A cadem y of Science, B eij ing 100029 , Ch ina) A