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第三章 俄歇电子能谱（AES） 本章讲授内容 一、概述 二、俄歇效应 三、Auger电子能谱 四、Auger峰能量 五、俄歇峰精细结构 六、俄歇信号强度 七、AES定量分析 一、概述 俄歇电子能谱(Auger Electron Spectroscopy, AES)； 亦称为： 扫描俄歇微探针（Scanning Auger Microprobe, SAM） AES分析是以e束（或X-射线束）为激发源，激发出样品