电感耦合等离子体质谱ICP-MS原理及应用.PDF

电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)原理及应用 李巧连 宗文杰 (分析测试中心元素分析组电话：010Email ：liqiaolian@iccas.ac.cn) ~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~ 电感耦合等离子体质谱（ICP-MS ）是以电感耦合等离子体（ICP ）作为离子 源，以质谱进行检测的一种无机多元素分析技术。自1980年美国Iowa大学的Houk 和Fassel 以及英国Surrey大学的Gray等人联名发表了第一篇ICP-MS可行性文章， 随后1983年第一台商品化ICP-MS 问世，经过三十多年的不断发展，ICP-MS在多 个学科领域都得到了广泛的应用。 下面以四极杆电感耦合等离子体质谱仪为例对仪器的结构及工作原理、技术 特点及应用做简单介绍。 一、仪器结构及工作原理： 电感耦合等离子体质谱仪由以下几部分组成：进样系统（包括蠕动泵、雾化 器、雾化室）、离子源 （包括矩管与射频线圈）、锥（包括采样锥与截取锥）、 离子聚焦系统、碰撞反应池、质量分析器、检测器。此外，仪器中还配置真空系 统、冷却系统、气体管路以及用于仪器控制和数据处理的计算机系统。ICP-MS 的基本结构见图1。 电感耦合等离子体是以氩气作为工作气体通过射频线圈产生高温等离子体， 其温度高达8000-10000 K，此温度下80% 以上的元素都可以发生一级电离，形成 单电荷正离子。ICP具有单电荷离子产率高、双电荷离子、氧化物及其它多原子 离子产率低的特点，是非常理想的离子源。 ICP-MS工作原理[1,2]如下：首先样品溶液通过蠕动泵进入雾化器，在氩气流 的作用下产生大量样品溶液的气溶胶，通过雾化室后小于10 µm的气溶胶颗粒随 氩气到达矩管进入处于大气压下的氩等离子体中心区，等离子体的高温使样品气 溶胶迅速发生去溶剂化、原子化和离子化最终形成了单电荷的正离子。离子束以 超音速通过采样锥孔并迅速膨胀，在两锥中间的一级真空区形成超声射流后通过 截取锥进入到二级真空区的离子聚焦系统。进入真空室的粒子除了正离子外还有 部分电子和中性粒子，离子聚焦系统将其中的中性粒子和电子排除，实现对正离 子的提取，偏转，聚焦和加速。随后离子进入到碰撞/反应池通过充He 的碰撞模 1 / 6 式（KED ）或充O /H /NH 的反应模式 （CCT ）有效去除多原子离子干扰，最后 2 2 3 离子进入三级真空区的质量分析器，目标离子根据荷质比（m/z ）被筛选出来， 在四极杆中作稳定振荡最后到达检测器被检测。检测器将离子转换成电子脉冲计 数，电子脉冲的大小与样品中目标分析离子的浓度有关。通过与已知的标准对比， 实现对未知样品的痕量元素定量分析。 图1、 Thermo iCAP RQ ICP-MS 结构示意图 2 / 6 二、ICP-MS技术特点 与传统无机分析技术相比，ICP-MS 技术具有非常明显的优势，主要体现在 以下几个方面： （1）多元素快速分析能力。可在几十秒内定性及定量分析质量数从6 到260 的 几乎所有金属元素及部分非金属元素。 （2 ）灵敏度高，检出限低。ICP-MS被公认为目前检出限最低的多元素分析技术， 大部分元素检出限比ICP-AES 低2～3个数量级，测定质量数在100以上的元素时， 检出限低于0.01 ng/mL ，特别是在检测稀土元素方面具有独特的优势。 （3 ）干扰较少。ICP-MS 的谱图比较简单，每个元素只产生一个或几个同位素的 单电荷离子峰，及少量双电荷离子和简单的多原子组合离子峰，其中多原子组合 离子产生的干扰可以通过碰撞或反应模式去除。 8 9 （4 ）线性动态范围宽，高达10 ～10 。 （5 ）稳定性高。四极杆 ICP-MS 的短期稳定性（RSD ）为 1%～2% ，长期稳定 性低于5% 。 （6 ）样品的引入和更换方便，且便于与其他进样或在线分离技术联用，如激光 烧蚀 （LA ）、气相色谱 （G