MEMS技术(1概述)-王文廉解析.ppt

微机电系统技术基础 王文廉 课程内容 微机电系统概述 微系统的工作原理 用于MEMS和微系统的材料 微系统加工工艺 传感器、致动器 微制造综述 微系统设计 第一章微机电系统概述 主要内容： 微机电系统基本概念及特点。 微机电系统的历史、发展与前景。 微机电系统的主要特征。 微机电系统的器件、系统和应用领域。 微观世界 什么是MEMS 微机电系统（Micor Electro —Mechanical Systems, MEMS）是在微电子技术的基础上发展起来的，融合了硅微加工、LIGA技术和精密机械加工等多种微加工技术，并应用现代信息技术构成的微型系统。它包括感知和控制外界信息(力、热、光、生、磁、化等)的传感器和执行器，以及进行信号处理和控制的电路。 各个国家不同的定义 美国：微型机电系统 MEMS: Micro electro mechanical system 日本：微机械 Micro machine 欧洲：微系统 Micro system 从国际上开发MEMS的情况看，美国侧重在微电子技术的基础上，通过微芯片取得制造工艺的突破；日本则侧重从机械加工工艺实现微机械的制造，强调通过非光刻的传统机械线实现机械微型化，是一条用大机器制造小机器，用小机器造微机器的途径；德国的特色是在LIGA工艺的应用上取得进展。这些国家的加工工艺各有特色，但均取得显著成效。 总体来看，目前美国和日本处