NFC机台制程材料一览表.PDFVIP

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  • 2018-12-31 发布于湖北
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NFC機台製程材料一覽表 製程 材料 放置位置 貴儀 儀器名稱 製程能力 類別 正表列 負表列 (分機) 補助 光 雷射圖形產生器 最小線寬5um (1). 4玻璃光罩 不接受外界自備之任何基材 固態大樓R118 有 罩 LASER-Beam Pattern Generator 極限線寬2um (2). 5玻璃光罩

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