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乌克兰巴顿焊接研究所的电子束物理气相沉积技术 　　北京航空航天大学 徐惠彬 宫声凯 刘福顺 　　[ ] 摘要 乌克兰国家科学院巴顿焊接研究所电子束技术国际中心是目前世界上唯一大规模利用 () 电子束物理气相沉积 2研制新材料和涂层工艺的研究中心, 本文简要介绍该中心研制的电 EB PV D 　　子束设备、目前正在从事的科研项目及电子束物理气相沉积技术的应用前景。 　　涂层 关键词: EB 2PV D 　　[2] A b s t rac t T h is p ap e r b r ief ly in t ro du ce s th e p ro g re s s in th e f ie ld o f EB PV D equ ipm en t an d 　　. . tech no lo g ie s in In te rn a t io n a l C en te r fo r E lec t ro n B eam T ech no lo g ie s o f EOP a to n W e ld in g In s t i2 　　.tu te o f U k ra in e 　　Keyword s: EB 2PV D Co a t in g 　　术国际中心, 其 EB 2PV D 技术及设备受到世界各国 1 引 言 的注目。 　　电子束物理气相沉积设备中, 最关键的技术及 1996年11月至1997年2月, 我们在乌克兰国部件是电子枪。西方各国用于物理气相沉积的电子 家科学院巴顿焊接研究所电子束技术国际中心进行了学 枪的设计原理及结构基本上属于同一模式。这种枪 ( ) 如德国枪在聚焦、扫描、偏转及束流等方面的精度 习、访问。巴顿焊接研究所成立于30 年代, 目前主要 ( , 但 结 构 复 杂, 且 加 速 电 压 较 高 一 般 为 30, 很高从事有关先进焊接技术、特殊电子材料、电冶金、钛 　　) 40, 易产生 射线及易使某些以化合物形式存 X kV 合金材料、各种涂层制备工艺等方面的研究及相关 　　在的蒸发物质分解; 用于物理气相沉积时, 由于束斑 设备的开发制作。电子束技术国际中心是目前世界 () 上唯一大规模利用电子束物理气相沉积 2EB PV D 直径较小, 不适应大面积蒸发, 往往必须进行散焦处 研制新材料和涂层工艺的研究中心, 该中心共有16 理, 另外由于聚焦时对加速电压的精度要求较高, 两 台中试型和生产型电子束设备, 主要从事各种涂层 　　个枪难以共用同一电源, 因而造成设备成本增加。 莫工艺、新材料以及包括电子枪在内的各种电子束物 　　夫臣教授及其合作者将用于熔炼的电子枪予理气相沉积设备的研制、开发及生产。本文将对该中心研制的电子束设备、所从事的 以改进, 研制出可供大面积蒸发沉积用的电子枪。其 　　科研项目及电子束物理气相沉积的应用前景作一简 ( ) 聚焦 采 用 皮 尔 斯 2系 统。阴 极 灯 丝 为 细 P ie rcetyp e 单介绍。板条状钨片, 灯丝电流为802120, 聚焦加速电压为 A 　　20, 25, 电子束流可达223。这种枪虽然聚焦精 kV A 　　度较低, 一般最小束斑直径仅为10但可适用于, m m 设备及发展 2 EB 2PV D 大面积蒸发, 且由于电压低, 不易使以化合物形式存 　　在的蒸发物分解。这种枪结构简单, 价格上仅为德国 EB 2PV D 设备在西方国家是十分昂贵的, 例如 110左右。同时, 这种枪对聚焦加速电压的精?枪的一台用于沉积发动机工件涂层的 2设备的价 EB D PV要求不高, 可以几个枪同时共用同一电源, 这就使度 1500万美元。这种昂贵的价格, 阻碍了用于格约为得 在同一台设备上更易于安装多个电子枪蒸发坩 , 利于实现高速蒸发沉积及降低设备成本。 制埚备涂层的 2设备在西方国家的发展。美国于 该中心采用这种电子枪, 制备了几种电子束物 EB PV D 　　70年代中止了这种设备的研制, 之后, 西方市场一直 理气相沉积设备。, 然而用户很少。 图1为该中心制作的生产型 2设备。该EB PV D 由德国公司垄断 　　另一方面, 前苏联的乌克兰巴顿焊接研究所在 10, 由一个主真空室及两个预真空室组m 设 备全长国家资金的支持下, 于50年代开始从事 2, 共配备有6个电子枪, 每个电子枪的功率为60EB PV D kW 成( 电技 术及设备的研究, 在乌克兰科学院院士莫夫臣教 　　() . . . 的领导下, 成功地将电P ro fBo r isAM o vch an 授 　　束熔炼工艺应用于物理