主动抛光盘磨制非球面镜面控制技术的研究-南京天文光学技术研究所.PDF

第31 卷第3 期 光 学 技 术 Vol.31No.3 　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　 2005 年 5 月 OPTICALTECHNIQUE May 　2005 ( ) 文章编号 : 2005 　　 主动抛光盘磨制非球面镜面控制技术的研究 1 1,2 1,2 1 汪达兴 , 李颖 , 杨世海 , 高必烈 ( 1. 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 , 南京 　210042;2. 中国科学院 研究生院 , 北京 　100039) 摘 　要 : 介绍了抛光盘机械结构和基本运动方式 ,探讨了主动抛光盘的控制系统和面形检测 ,重点对变形技术进行 了数学分析 ,并给出了实验结果 。根据实验结果分析了面形误差产生的原因 ,讨论了主动抛光盘的动态响应和校正 ,给 出了直径 910mm, 焦比为 F/ 2 的实验镜面磨制结果 。 关 键 词 : 主动抛光盘 ; 非球面镜面 ; 计算机控制 中图分类号 :TG580.61 + 3 　　　文献标识码 :A Studyoncontroltechnolo gyofactivestressed la p polishin gas phericalmirror WANGDa-xin g1 ,LIYin g1 ,2 ,YANGShi-hai 1 ,2 ,GAOBi-lie 1 ( 1.NationalAstronomicalObservatories/Nan jin gInstituteofAstronomicalO pticsandTechnolo gy,ChineseAcadem y ofSciences,Nan jin g 　210042,China;2.GraduateSchooloftheChineseAcadem yofSciences,Bei jin g 　100039,China ) Abstract: Themechanicalconstructionandbasicmovementmodeofthela pareintroducedandthecontrols ystemwasex ploited.Distortiontechnolo gywasanal yzedfrommaththeor yas pectandtheex perimentresultwas given.Accordin gtothere sult,thereasonofdistortionerrorwasanal yzedandthed ynamicres ponseandemendation problemwerediscussed.Thetestin g resultsona pplyingthela pon 910mm,with f / 2 paraboloidalmirrorwere given. Keywords: activestressedla p;as phericalmirror;com putercontrol 机实时控制技术更是对传统控制方法的挑战 ,使主 1 　引　言 动抛光盘能够磨制各种非球面度的天文镜面 ,从而