紫外光外面清洗技巧与uv光清洗机[整理版].doc

紫外光表面清洗技术与UV光清洗机 摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。 关键词： 紫外光清洗技术、改质技术、UV光清洗机、VUV低压紫外汞灯、有机污染物、接触角、俄歇电子能谱曲线 紫外光表面清洗技术在国际上是随着光电子信息产业的发展而提出来的。七十年代中期美国军事电子技术和器件实验室应用紫外光照射清洗石英晶片取得满意的效果。但是，美国在较长的时间里紫外光表面清洗技术主要在军事领域中进行研究性应用。直到九十年代初，日本和美国先后将UV光清洗