硒化锌晶体精细雾化抛光液及去除机理研究-表面技术.PDFVIP

第47 卷 第 6 期 表面技术 2018 年6 月 SURFACE TECHNOLOGY ·271 · 硒化锌晶体精细雾化抛光液及去除机理研究 李庆忠，施卫彬，夏明光 （江南大学 机械工程学院，江苏 无锡 214122） 摘 要： 目的 配制适合硒化锌雾化施液化学机械抛光的最优抛光液。方法 选取氧化铝磨粒、pH 调节剂四 甲基氢氧化铵、氧化剂过氧化氢、表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮为主要活性成分，以材料去除速率和表面粗 糙度为评价指标，通过正交试验对硒化锌晶体进行精细雾化抛光，分析材料去除机理，并与传统抛光对比。 结果 氧化铝质量分数为9%、pH 值为 11、过氧化氢含量为3.5%、聚乙烯吡咯烷酮含量为0.75%时，材料去 除率较高，为923.67 nm/min ，同时表面粗糙度较小，为2.13 nm 。在相同工况条件下，