硼对沉积本征微晶硅薄膜特性的影响!-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (’ ##= ， ， ， *XB 2(’ X 2 ,KYTLATU ##= （ ） %###-=#O##=O(’ # O %=-#( 80?8 .+VWP08 WPP08 !##= 0F4G 2 .FUR 2 WXM 2 硼对沉积本征微晶硅薄膜特性的影响! ! 孙福河 张晓丹 王光红 许盛之 岳 强 魏长春 孙 建 耿新华 熊绍珍 赵 颖 （南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室，光电信息技术科学教育部重点实验室，天津 ###$%） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）