真空系统组成与生设计基础.pptVIP

课程内容 1.真空系统的组成 2.真空系统组成元件 3.真空系统的设计计算 1.真空系统的组成 1.1真空系统的概念 1.2真空系统的组成元件 1.3真空系统的分类 1.4真空系统设计的基本内容 1.1 真空系统的概念 什么是真空系统？ 用一句话来概括，真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。 马德堡半球实验 真空电炉：真空电炉是在最近几十年发展起来的，在真空条件（稀薄气体中）工作的。根据加热热源不同，真空电炉可分为： 电阻加热炉 感应加热炉 电弧加热炉 电子束加热炉 真空电子束焊接：定向高速运动的电子束流撞击工件使动能转化为热能而使工件熔化，形成焊缝 离子注入： 真空中一束离子束射向固体材料，把固体材料原子或分子撞出材料表面，叫做溅射； 离子束从固体材料表面弹回来，或穿出固体材料而去，叫做散射； 而当离子束射到固体材料后，受固体材料抵抗速度慢慢减低，并最终停留在固体材料中，叫做离子注入。 离子注入引起材料表面成分、结构和性能变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能 特点：无公害、不改变尺寸和表面光洁度、无剥落、不需再加工和热处理。 真空热处理： 真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，即在低于一个大气压的气氛环境中进行热处理，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。 真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的