等离子体及辉光放电现象-精品·公开课件.pptVIP

* * 等离子体 部分电子被剥夺后的原子或原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它是除去固、液、气外，物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体，利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。 定义： 等离子体可分为两种：高温和低温等离子体。高温等离子体只有在温度足够高时发生的。低温等离子体是在常温下发生的等离子体（虽然电子的温度很高）。低温等离子体可以被用于氧化等表面处理或者在有机物和无机物上进行沉淀涂层处理。广泛运用于多种生产领域。例如：等离子电视，电脑芯片中的蚀刻运用等。 等离子体的驱动——射频放电 微电子加工领域，等离子体可以用交流信号驱动，电源在射频的范围内，公认的频率为13.56MHz。 电容性放电等离子体是主要的等离子源。 低气压下的气体放电。放电管中的残余正离子在极间电场的作用下被加速，于是得到足够的动能撞击阴极而产生二次电子，经簇射过程产生更多的带电粒子，使得气体导电。因此放电管两极间所需电压较高，一般都在10千伏以上，但辉光放电的电流很小，温度不高，属于低温等离子体现象。 辉光放电 种类： 电感耦合等离子体 磁控等离子体 电子回旋共振等离子体 高密度等离子体——high density Plasmas（HDP)