拉晶工艺设计标准.docVIP

WORD格式整理 专业资料 值得拥有 文件编写基本规定 上海申和热磁电子有限公司 受控状态 实施日期 2002 适用 质量、环境类文件 受控 实施责任者 管理者代表 注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核 批准 承认 变更内容： 何锋 文件编号 版/次 总 NUMPAGES 11页 S/QW300042301-02 A/0 第 PAGE 1页 目的 将硅多晶或者硅单晶转变成客户需要的硅单晶。 二．适用范围 上海汉虹精密机械有限公司生产的FT-CZ1806型单晶炉以及FT-CZ2008型单晶炉。 使用设备及工具 ·FT-CZ1806型单晶炉或者FT-CZ2008型单晶炉、空气压缩机、真空泵（主/辅）、循环冷却水系统、氩气输送系统、氩气中含氧量监测仪 ·斜口钳、螺丝刀、不锈钢托盘、不锈钢推车、硅单晶专用取棒车、美工刀等 材料 ·多晶硅、可回收利用的硅材料、掺杂剂、5个9的高纯Ar、可循环的软化冷却水、高纯石墨热场 ·一次性手套、防静电手套、乳胶手套、隔热手套、塑料袖套、一次性口罩 ·无尘纸 、乙醇 环境要求 洁净房 重要工艺参数 见《工艺参数卡》 手动菜单炉台状态参数显示FT-CZ1806以及FT-CZ2008型单晶炉面板介绍 手动菜单 炉台状态参数显示 籽晶控制漏气检查压力控制氩气控制加热器控制坩埚控制控制状态显示籽晶状态显示坩埚状态显示控制按钮 籽晶控制 漏气检查 压力控制 氩气控制 加热器控制 坩埚控制 控制状态显示 籽晶状态显示 坩埚状态显示 控制按钮 图1《手动状态操作画面》 1.图片说明 1.1.“手动菜单”所指的红色区域所显示的是对应于其右边的【籽晶】、【泄漏检查】、【氩气】、【压力】、【加热器】、【坩埚】按钮的其中一项，其显示的内容就是对于对应项目的具体操作的控制按钮。 1.2.“炉台状态参数显示”所指的红色区域所显示的是炉体所处的状态，包括了上下炉体的压力、加热器的温度以及功率、电流、电压、氩气流量等等。 1.3.“控制状态显示”所指的红色区域所显示的是炉台所启用的控制，红色的代表此项控制正在作用，灰色代表此项操作此刻不在作用。 1.4.“籽晶状态显示”所指的红色区域所显示的是籽晶运动的参数，包括了籽晶的高低拉速、籽晶的转速、籽晶位置等等。 1.5.“坩埚状态显示”所指的红色区域所显示的是坩埚的运动参数，包括了坩埚的高低升速、坩埚转速、坩埚位置等等。 1.6.“控制按钮”所指的红色区域所显示的是几个控制按钮。 拉晶作业步聚 1.热场组立 1.1.按照FT-CZ1806和FT-CZ2008各自的《热场装配图》，将热场部件逐一装配组合。 ※ 注意外保温筒的测温孔与温度传感器对准，否则将无法用温度控制拉晶。 1.2.将钢皮尺置于石墨中轴上，如图1中点击【坩埚】,弹出坩埚控制菜单。在“旋转速度”中输入想要的坩埚转速，按【OK】键确认，最后点击【开】按钮让坩埚旋转来确认加热器是否与中轴同心，可以调整加热器的两个固定螺丝使中轴与加热器尽量调至同心。 1.3.将石墨坩埚放入后再对中，确保坩埚四周与加热器的位置大于3mm，并尽量同心。 1.4.将导流筒装上，并用如上方法确保导流筒安装的与石墨坩埚同轴。 1.5.将碳毡导流筒放置在石墨导流筒之外，不要将石墨导流筒的位置变化。 1对中中轴与加热器同圆心 2对中加热器与石墨坩埚 3对中导流筒与石墨坩埚 组图2：以FT-CZ1806型热场展示对中过程 2.石英坩埚的安装 2.1.将石英坩埚的合格证取出，贴附在拉晶记录上。 2.1.戴上一次性手套，拿出石英坩埚，在灯光下确认石英坩埚有无伤痕、裂纹、气泡、黑点。 ※确切的要求参照我们对石英坩埚供应商的来料要求。 2.2.插入石墨坩埚内，比较石墨坩埚与石英坩埚的高度，确认并调整水平 2.3.石英坩埚安装好后，设定坩埚转速8 rpm，确认石英坩埚在转动时不会晃动方可。 1检查石英坩埚 2装入石英坩埚 3调整石英坩埚放置的水平 3.掺杂剂的装入 3.1.确认掺杂剂料包上所写的重量与拉晶指示书上的数据是否一致。 3.2.带上一次性的手套，将装有掺杂剂的料包在石英坩埚的上方且低于石英坩埚口的位置打开，并抖动装料纸使掺杂剂全部落入石英坩埚中。 1掺杂剂的装入 4.硅材料的料装入 4.1.先戴好口罩，确认帽子塞入衣服领子内，头发没有露在帽子外面，衣服拉链全部拉到位；一手戴2层一次性手套，拎材料袋，另一只手戴上塑料袖套、防静电手套，再戴上3层一次性手套，进行装料作业。 4.1.1.装料前，尽量留