GB/T 18193-2000真空技术　质谱检漏仪校准.pdf

23.160 JIC7S8 蜀旨 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T18193-2000 idtISO3530:1979 真空技术 质谱检漏仪校准 Vacuumtechnology一Mass-spectrometer-type leakdetectorcalibration 2000一09一26发布 2001一02一01实施 国 家 质 靛技 术 监 督 局 发布 Gs/T18193-2000 前 言 本标准等同采用ISO3530:1979《真空技术 质谱检漏仪校准》，在技术内容上与该国际标准等效。 但是考虑到我国标准本身的特点及汉语的表述习惯，使该标准既与国际标准接轨，又适合我国的国情， 为此，对ISO3530:1979标准的个别内容作了编辑性修改。 本标准由国家机械工业局提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会归口。 本标准起草单位:沈 阳真空技术研究所 。 本标 准主要起 草人:龙方 、李春影 、任丽华 、李玉英。 Gs/T18193-2000 ISO前言 ISO(国际标准化组织)是各国标准协会(ISO成员)世界性的联合组织。制定国际标准工作是通过 ISO技术委员会来进行的。每个成员都有权参加其感兴趣的议题所在的委员会，与ISO有关的国际组 织，政府的和非政府的也参加了这个工作。 技术委员会采纳的国际标准草案，被 ISO理事会采纳成为国际标准以前，应发给各个委员会成员。 ISO3530国际标准为ISO/TC112真空技术委员会制定，并于 1978年 11月发给了每个成员。 本标准由以下国家成员通过: 澳大利亚 比利时 智利 前捷克斯洛伐克 法国 德国 印度 意大利 日本 韩国 墨西哥 荷兰 波兰 罗马尼亚 南非共和国 西班牙 英 国 美 国 没有成员表示反对这个 文件 。 Gs/T18193-2000 ISO引言 该标准规定了质谱检漏仪校准的使用程序，即测定质谱检漏仪灵敏度。但该程序需要使用的一个校 准漏孔和一种标准的气体混合物，不在这个标准的范围内。质谱检漏仪以下简称 检“漏仪”。 检漏仪用于机械孔(如针孔)的漏量和通过许多聚合材料而发生的漏气的探测。那些表面解吸、气化 和气穴的虚漏，一般不能用检漏仪探测。 漏率校准范围限制在一个规定的水平，因为对于较大泄漏这个因素是不重要的，而对于漏率小于 10-,zPams-，的泄漏，这个因素就变得重要了。 检漏仪检验 的对象可 以在高真空条件下或者高于大气压下 。一般在两种情况下检漏技术将不同。在 第一种情况下，检漏仪通常在接近它的低的极限压力下进行工作;在第二种情况下，检漏仪常被使用在 其最大或接近最大工作压力。对应于这两个工作条件，两个灵敏度术语定为:“最小可检漏率”和 “最小可 检浓度比”(见本标准第2章)。 这样定义的两个量是有关系的，但是，从一个数据去算得另一个数据不可行。因此规定了测定两者 的方法 。 该标准用在真空技术领域中是一系列泄漏试验程序和装置标准之一。 应用分类:气密性、检漏仪校准、漏孔的校准、气体混合物、检漏仪验收规范和真空设备的气密检验 的一般程序 。 上述应用分类 中的一些项构成将来标 准的课题 。 中华 人 民共 和 国国家标 准 真空技术 质谱检漏仪校准