宽波段金属光栅设计中闪耀波长对光栅异常的补偿效应-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ５ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．５ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ５ Ｍａ ２００９ 　 　 　 ｙ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０５０９９０１１ 　 宽波段金属光栅设计中闪耀波长对光栅异常的补偿效应 ， １ ２ １ 张善文 ，巴音贺希格 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００４９） 摘要：给出了适用性强、工艺上易于实现的单闪耀面宽波段金属光栅的设计方法。基于 Ｒａｌｅｉｈ异常和共振异常两种不 ｙ ｇ 同的光栅异常机理，分别讨论了它们出现的条件；在光栅电磁场理论的基础上，数值分析了 波、 波闪耀波长的分 ＴＥ ＴＭ 布规律，得到了闪耀波长与光栅异常和光栅光谱范围的关系；提出了用ＴＭ波第一闪耀波长补偿Ｒａｌｅｉｈ异常或共振异 ｙ ｇ 常，实现制作宽波段金属光栅的设计思想。同时，指出了ＴＭ波第一闪耀波长对 Ｒａｌｅｉｈ异常补偿效应，只是它对共振 ｙ ｇ 异常补偿效应的极限情况。给出了将补偿效应应用于紫外可见分光光度计和红外分光光度计中不同刻线密度宽波段金 属光栅的设计实例。实验表明，使用补偿效应法无论在理论设计上还是在工艺实现上都要优于传统的宽波段金属光栅 设计方法，可使得用于各个波段的宽波段金属光栅衍射效率都在 ４０％以上。 关 键 词：宽波段光栅；金属光栅；补偿效应；闪耀波长； 异常；共振异常 Ｒａｌｅｉｈ 　 　 ｙ ｇ 中图分类号： ； 文献标识码： Ｏ４３６．１ Ｏ４３８．２ Ａ 　　 犆狅犿 犲狀狊犪狋犻狀 犲犳犳犲犮狋狅犳犫犾犪狕犲犱狑犪狏犲犾犲狀狋犺狋狅 狉犪狋犻狀 犪狀狅犿犪犾犻犲狊 狆 犵