第六章表面改性技术.pptVIP

6.5 离子注入技术 离子注入是将某一需要注入的化学元素的 原子经电离后变成离子，并将其在电场中加 速，获得较高的动能后注入到固体材料表 面，以改变该材料表面的物理、化学或机械 性能的一种技术。在离子注入过程中，具有 一定动能的离子射入固体后，就与固体表层 内的原子核和电子发生随机碰撞。 第六章 表面改性新技术 6.5离子注入技术 碰撞过程中，离子不断消耗其能量，离子的 运动方向不断改变。经过一段碰撞过程后，离 子的能量耗尽，就在固体表层内某一部位停留 下来，达到的表面改性的效果。 离子注入技术首先应用于半导体材料。该技 术使大规模集成电路的研究和生产获得了极大 的成功。70年代以后才开始用于金属材料的表 面改质。 第六章 表面改性新技术 6.5.1离子注入的基本原理及注入过程 离子注入的过程是将需要注入的元素在离 子源中进行离子化，以数千伏的电压把形成 的离子引入质量分析器，在质量分析器中把 具有一定荷质比的离子筛选出来，并导入加 速系统，在数千伏到数百千伏的加速电压作 用下，高能离子在扫描电场作用下，可在材 料表面纵横扫描，从而实现高能离子对材料 表面的均匀注入。 第六章 表面改性新技术 6.5.2离子注入改性的机理 离子注入金属后能显著地提高其表面硬 度、耐磨性、抗蚀性、抗氧化性和疲劳寿命 等，基本改性机理如下： 1．损伤强化作用 具有高能量的离子注入金属表面后，将和 基体金属离子发生碰撞，从而使晶格大量损 伤。所产生的大量空位在注入热效应作用下 会集结在位错周围，对位错产生钉扎作用而 把该区强化。 第六章 表面改性新技术 6.5.2离子注入改性的机理 2．固溶强化 该强化效果主要体现在像C，N这类小尺寸 原子半径的间隙原子的注入上，被注入到零 件表面的C，N原子往往以间隙的方式固溶于 晶体的晶格间隙中，产生强烈的晶格畸变， 从而使材料的变形抗力增加。 第六章 表面改性新技术 6.5.2离子注入改性的机理 3．沉淀强化 注入元素（如 N，B）固溶于表层的基体 内，使基体过饱和程度增加，达到某一限度 后，基体内的溶质元素将以某种化合物的形 式沉淀出来，形成Fe4N，Fe3N，CrN，TiN 等氮化物它们呈星点状镶嵌于材料中，构成 硬质合金弥散相，使基体强化。 第六章 表面改性新技术 6.5.2离子注入改性的机理 4．喷丸强化作用 高速离子轰击基体表面，也有类似于喷丸 强化的冷加工硬化作用。离子注入处理能把 20%～50%的材料加入近表面区，使表面成 为压缩状态。这种压缩应力能起到填实表面 裂纹和降低微粒从表面上剥落的作用，从而 提高抗磨损能力。 第六章 表面改性新技术 6.5.2离子注入改性的机理 5．使表面氧化膜增厚 由于离子注入产生的撞击使被注表面的温 度提高，同时，离子束的辐照引起原子的扩 散增加，从而使金属表面在空气中已经形成 的氧化膜增厚，往往有些经离子注入的钢试 样表面形成一层较厚的深蓝色的Fe3O4膜，该 氧化膜致密，与钢表面有很强的结合力，是 优良的抗腐蚀保护膜。该类还可显著降低摩 擦系数。 第六章 表面改性新技术 6.5.2离子注入改性的机理 6．产生表面污染膜 在离子注入过程中，离子注入机真空系统 中的油蒸气经辐射分解，并经离子反冲注入 样品，使样品近表面层的碳含量增高，在样 品表面形成一层棕褐色的碳污染膜。近来一 些试验证明，当碳污染膜的结构为非晶态相 时，其抗腐蚀性将明显提高。 第六章 表面改性新技术 6.5.2离子注入改性的机理 7．使表面产生钝化膜 在钢表面注入易产生钝化膜的元素，如铬、 铝、硅、钽等，使注入后的材料表面产生一层 注入元素和氧的化合物膜，从而使表面钝化而 提高抗腐蚀性。 8．产生表面惰性层 在材料表面注入惰性元素，如铜、镍等，在 表面形成一层抗腐蚀性较强的惰性表层，使表 层化学稳定性提高，增加抗腐蚀性。 第六章 表面改性新技术 6.5.2离子注入改性的机理 9．形成非晶态结构 采用重离子以较大的能量对金属表面进行注 入，打乱表层中的原子有序排列结构，在表面形 成一层非晶态层。由于非晶态中无晶界等缺陷， 微电池数大大下降，抗腐蚀性明显增加。 10．产生单相结构表层 采用离子注入，可以在表层中获得单相的固溶 体。由于单相结构避免了异相之间的电极电位差 存在，因而具有优良的抗电化学腐蚀的性能。 第六章 表面改性新技术 6.5.3离子注入技术的特点 （1）离子注入是一个非热平衡过程，注入 离子的能量很高，可以高出热平衡能量的2～3 个数量级。因此