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注意:敬请用户在操作使用
注意:敬请用户在操作使用M-R FFU风机过滤机组之前,必须详细阅读使用说明书!并妥善保存。
M-R FFU风机过滤机组
执行标准:Q/320500BSK 010-2004
使用/维护说明书
本企业已通过洁净行业协会质量体系认证
欢迎使用FFU风机过滤单元
由衷地感谢您加入本公司的用户队伍!
FFU?层流罩?通用
安装?使用?维护说明书
请详细阅读本说明书,并妥善保存,以备日后维
请详细阅读本说明书,并妥善保存,以备日后维护时参考。
目 录
概述
1-1风机过滤器单元 3
1-2结构及特点 4
重要安全事项
2-1安装使用环境 5
2-2运送与安装 5
2-3安装?使用注意事项 5
使用说明
3-1运转前点检事项 6
3-2运转时注意事项 6
维护说明
4-1日常维护 7
4-2定期维护 7
4-3故障排除 8
附 录 9
本说明书内容包含风机过滤器单元的安装?使用?维护?方法,本机体是安装在洁净区域天花板上,藉由滤网捕捉室内空气中的尘埃,为能平稳且安全地发挥机体性能,使用前请详细阅读此说明书。
注:本公司为了提高产品质量和性能,在不断改进和创新中,本产品
如有更新或更改,我公司随时更改本说明书,恕不另行通知。
1.概述
1-1风机过滤器单元
风机过滤器单元(FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。
风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。
●使用环境
?周围温度:5℃~40
?湿度:低于85%RH(没有湿气凝结状态下)
?周围空气:一般室内空气
?清净度:100-10级
?请避免连续反复ON/OFF操作机体
如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组,将会影响制品性能,并可能会发生电气短路现象,造成电气部件损坏,缩短制品使用寿命。
为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅第4页的〝重要安全事项〞。
FFU天花板的轻钢架照明装置
FFU
天花板的轻钢架
照明装置
图解:
1-2结构及特点
(1) 主要部件
图1 标准品范例
(2) 表1. 部件明称及功能(参考图1)
No.
部 品 名 称
功 用
备 注
1
初效滤网
可有效拦截粒径≥5um的灰尘
根据环境可用可不用
2
外壳
设备外壳
可选优质冷轧板喷塑,镀锌铝钢板,铝板及不锈钢板等材料
3
把手
方便搬运
4
吊环
机体吊装
选配件
5
导流消声装置
引导气流及消除噪声
6
风机系统
为设备提供动力
风机选用美日合资M-R电机
7
高效滤网
可过滤微小粒径的灰尘
效率99.99%@ 0. 3um
可选各种效率的滤网
8
控制系统
调速及开关电源
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2.重要安全事项
不当使用风机过滤器单元组将会造成制品性能降低,使用时请务必遵守下列事项:
2-1 安装使用环境
●风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。
● 设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物,以免发生火灾。
● 请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品,如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。
● 请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品,如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。
2-2 运送与安装
● 请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品,搬运时务必保持水平,如果使用轻便推车等工具运送时,请选用车台超过机体包装宽度的推车。
● 机体安装后,机体上方至少须预留30公分以上的空间,以利将来机体维修,未预留足够的维修空间,机体将无法进行维修及部件更换。
● 试运转前,请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。
2-3 安装?使用注意事项
●风机过滤器单元安装于无尘室时,请务必遵守下列指示
?当进入无尘室时
请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。
点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。
● 切勿直接重压风机过滤器单元机体,以免造成机体变形。
● 请勿以沾湿的手操作机体,以免发生触电危险。
● 请勿遮蔽机体吸入口及吹出口,机体吸入口及吹出口被遮蔽,将导致机体性能无法正常发挥,造成机体功能异常或电气部件损坏。
● 实施第三种接地工事,以避免电击产生之危险。
3.安装使用
3-1运转前检查事项
运转前请先检查下列注意事项:
● 机体外部电源是否连接,电源供应是否妥当。
● 机体接地工事是否已实施。
● 机体上方空气吸
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