激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法.PDFVIP

浙江理工大学学报 第 卷 第 期 年 月 文章编号 激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法 章淼凌严利平楼盈天刘燕娜陈本永 浙江理工大学纳米测量技术实验室杭州 摘 要介绍激光圆偏振干涉纳米位移测量系统的光路结构针对 误差和直流噪声引入的位移误差提出 了基于正余弦信号切换的干涉条纹处理方法 以提高测量精度 设计基于和架构的激光圆偏振干涉纳 米位移测量系统 其中主要用于信号的采集 大数计数及与上位机通讯 主要用于小数计算 位移实验 结果表明在 范围内步长为 的测量结果其线性拟合相关系数为 标准差为 在 范围内步长为 的测量结果其线性拟相关系数为标准差为 验证了所提出的干涉条纹 处理方法和信号处理系统能够实现纳米级位移测量精度的要求 关键词激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理 和 中图分类号 文献标志码 和直流信号噪声产生的误差 提高测量精度 引 言 激光圆偏振干涉纳米位移测量系统光路 激光干涉仪具有测量范围大 精度高的优点 已 结构 被广泛应用于位移 速度 角度和直线度等方面的测 量 目前对激光干涉信号主要采用现场可编程 激光圆偏振干涉纳米位移测量系统光路结构如 门阵列 或数字信号处理器 进行信号 图 所示 激光器输出单频线偏振光 经过长轴与该