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基于法布里-珀罗干涉的微悬臂偏移检测系统-光子学报
第 卷第 期 光 子 学 报
47 12 Vol.47No.12
年 月
2018 12 ACTAPHOTONICASINICA December2018
: /
doi10.3788 zx1212003
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基于法布里 珀罗干涉的微悬臂偏移检测系统
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黄剑 詹维纳 陈杨黎 卢景琦
( , )
武汉理工大学 理学院 物理系 武汉 430070
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摘 要 提出了一种基于法布里 珀罗干涉的方法用于原子力显微镜微悬臂偏移量的检测 设计了一个
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球面反射镜与微悬臂组成的半球面布里 珀罗腔 并利用高单色性的激光器作为光源 激光光束在半球
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面布里 珀罗腔中多次反射并原路返回形成干涉 根据多光束干涉原理确定干涉光强与腔长之间的关
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系 利用强度解调的方法计算微悬臂的偏移量并反馈给原子力显微镜系统 最后根据该方案搭建一套微
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悬臂偏移检测系统 实验获得 30nm的工作范围内99.9%的线性拟合度 微悬臂最小位移分辨力为
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0.26nm 实验结果和理论分析一致 证明了该系统的实用性.
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关键词 位移测量 法布里 珀罗干涉仪 原子力显微镜 微悬臂 强度解调
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中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
O436.1 A 1004-4213201812-1212003-7
Micro-cantileverDislacementDetectionSstemBasedon
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Fabr-PerotInterference
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