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内 容 扫描探针显微镜分析 (Scanning Probe Microscopy) 一．概述 二．原子力显微镜 三．扫描隧道显微镜 叶建东 材料学院 扫描探针显微镜的主要功能概述 三维成象 原子力显微镜 样品表面三维形貌结构（纳米至微米尺度的三维测量） 计量及其它特殊测量功能 （Atomic Force Microscopy ）  摩擦力和其它表面力(LFM)  纳米硬度测试和微载荷压痕  磁场力(MFM)  纳米粗糙度  电场力(EFM)  化学反应(ECM)  表面电势（电压）  两维掺杂剖面(SCM和SSRM)  温度(SThM)  力曲线 其他功能 纳米尺度的刻蚀和操纵 一. 原理 微观世界的观察 使用一个对力非常敏感的微悬臂，其尖端有 一个微小的探针，针尖半径接近原子尺寸，当探 自然可视 针轻轻压在样品表面时微悬臂受力的作用发生弯 光学显微镜可视 曲，将悬臂的形变信号转换成光电信号并放大， 电子显微镜可视 衍射 可以得到原子间作用力（原子间范德华力）的微 -3 -4 -5 -6 -7 -8 -9 -10 弱变化的信号。恒定距离在试样表面上扫描，针 10 10 10 10 10 10 10 10 尖随表面的凹凸作起伏运动，可得到表面三维轮 廓图。在空气中测量时，横向分辩率达0.15 nm， 头发丝粗细 机械精度 纳米材料 原子尺度 纵向分辩率达0.05 nm 。 灰尘 生物组织 1 扫描探针显微镜 （Scanning Probe Microscope) 原子力显微镜 微悬臂和针尖 用于检测小样品的AFM一般采用样品移动，用于 检测大样品的AFM一般采用探头移动。 有各种不同材质的探头可供选择，以适应不同的