第五章 电容式传感器..pptVIP

经放大、相敏检波和滤波后输出直流电压USC大小与位移成 线性关系，其正负极性反映位移的方向。 3. 运算放大器式测量电路 若为变极距型电容传感器，则： 则此时输出电压与输入位移间存在线性关系 得： 由 为保证仪器精度，要求放大器的Zi及放大倍数足够大，还要求电源电压的幅值及固定电容的值稳定。 4.二极管双T型交流电桥 当UE为正半周时（等效电路如图b），D1导通、D2截止，于是电容C1充电;在随后负半周出现时，电容C1上的电荷通过电阻R1，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I1。 UE在负半周内（如图c），D2导通、D1截止，则电容C2充电，在随后出现正半周时，C2通过电阻R2，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I2。 当RL已知时， 为常数，设为K， 式中，f――电源电压的频率。 可见：输出电压与电源电压的频率和幅值有关，当电源参数确定后，输出电压只是电容C1和C2的函数。输入电源要求稳定。 则： 若C1=C2，则电流I1 =I2，且方向相反，在一个周期内流过RL的平均电流为零。 若C1≠C2, 则I1≠I2在一个周期内流过RL的平均电流I1-I2≠0，输出电压U0： C1＝C2 时 C1C2 时 C1、C2为传感器的差动电容 UAB 为电路的输出 5. 差动脉冲调宽电路 若传感器为变极距型： 若传感器为变面积型： 差动脉冲宽度调制电路适用于变极板距离和变面积式差动电容传感器，且为线性特性。 uAB经过滤波后，即可得到一直流输出电压U0 1.电容式差压变送器 高压侧进气口 低压侧进气口 电子线路位置 内部不锈钢膜片的位置 5.5 电容式传感器的应用 电容式差压变送器内部结构 1—高压侧进气口 2—低压侧进气口 3—过滤片 4—空腔 5—柔性不锈钢波纹隔离膜片 6—导压硅油 7— 凹形玻璃圆片 8—镀金凹形电极 9—弹性平膜片 10—? 腔 图示为差动电容式差压力传感器结构。一个膜片动电极和两个在凹形玻璃上电镀成的固定电极组成的差动电容器。 当被测压力或压力差作用于膜片并使之产生位移时, 形成的两个电容器的电容量, 一个增大, 一个减小。该电容值的变化经测量电路转换成与压力或压力差相对应的电流或电压的变化。 各种电容式差压变送器外形 2.电容式加速度传感器 　　质量块由弹簧支撑，在壳加速度作用下，质量块在两固定电极间振动，从而改变电容C1、C2值，如图： 3. 电容测厚仪： 结构原理如图： 轧制金属带材厚度在线监测 ?d　　　?CX 4.电容式振动、位移测量仪 结构原理如图： 被测工件有振动或位移，与固定电极金属板间距离改变，从而电容量改变。 5．电容式接近开关 齐平式 非齐平式 电容式接近开关外形 非齐平式安装时，传感器高于安装支架，易损坏。 电容式接近开关在物位测量控制中的使用演示 6.湿敏电容 利用具有很大吸湿性的绝缘材料作为电容传感器的介质，在其两侧面镀上多孔性电极。当相对湿度增大时，吸湿性介质吸收空气中的水蒸气，使两块电极之间的介质相对介电常数大为增加（水的相对介电常数为80），所以电容量增大。 湿敏电容外形 吸水高分子薄膜 湿敏电容模块及传感器外形 * 2005年5月10 日 * 电容式指纹识别传感器 电容式指纹传感器有单触型和划擦型两种，是目前最新型的固态指纹传感器，它们都是通过在触摸过程中电容的变化来进行信息采集。 这两类电容式指纹传感器的工作原理为：当指纹中的凸起部分置于传感电容像素电极上时，电容会有所增加，通过检测增加的电容来进行数据采集。传感器中的像素点为45平方微米，间隔为50微米，电容像素阵列的分辨率略高于500dpi。这类传感器基于一种标准的单-多晶硅三层金属CMOS工艺，并采用0.5微米工艺进行设计。 金属互连的第三层构成电容像素层，由氮化钛制成并覆盖着一层氮化硅，厚度仅为7000埃米。这种硬金属电极与抗磨涂敷层组合形成的传感器十分坚实耐用，使用寿命可以达到很多年。它们的用途主要有： 1 指纹检测 人类的指纹由紧密相邻的凹凸纹路构成，通过对每个像素点上利用标准参考放电电流，便可检测到指纹的纹路状况。每个像素先预充电到某一参考电压，然后由参考电流放电。电容阳极上电压的改变率与其上的电容成下面的比例关系： 　 Iref=C×dv/dt 　　 (3-3-1) 处于指纹的凸起下的像素(电容量高)放电较慢，而处于指纹的凹处下的像素(电容量