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超光滑表面无损检测轮廓仪
28 4 光 子 学 报 Vo1. 28 No . 4
1999 4 ACT A PHOT ONICA SINICA April 1999
杨甬英 卓永模
( , 310027)
本文所述的超光滑表面无损检测轮廓仪, 无需标准参考面; 利用 焦干涉作非接触
无损检测; 利用干涉及电子共模抑制技术可有效地抑制各类噪音; 计算机控制测量, 即时给
出表面粗糙度参数, 与WYKO 比对, 结果吻合. 仪器特别适合于均方根值R 为纳米及亚
纳米量级的软质金属材料及膜层表面测试. 其横向分辨率为1m, 纵向分辨率为0. 1nm .
干涉术; 轮廓仪; 粗糙度; 表面轮廓; 纳米测试
0
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o e
.
.
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15
.
,
; 1) He-Ne laser; 2) 1/ 2 Wave plate; 3) Stop; 4) 5)
14) Mirror; 6) Expanded and collimated; 7) 13) Light
,
; 8) 1/ 4 ; 9) - ; 10) 20
split ter Wave plate Double focus lens
; 11) ; 12) 1, 2 ; 15)
. Object ive Testing surface P P Polarizer
, Light splitter ( using inspection ) ; 16) Imaging lens; 17)
- ; 18) -
Photo diode Pre amplifier
, . 1
Fig . 1Schematic diagram of the profiler system
1 . 20 e , e
;
1 . o
, M 1 11 o
, He-Ne
. o , e
1/ 2 2 ,
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9,
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