基于PI湿敏薄膜的分布式光纤Bragg光栅湿度传感器-NSFC.PDF

· 光电子 激光 第 卷第 期 年 月 · ２２ １１ ２０１１ １１ Ｖｏｌ．２２Ｎｏ．１１ Ｎｏｖ．２０１１ 　　　　　　 　 　 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＯ ｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌａｓｅｒ 　 　 ｐ 　　　　　　　　 基于 湿敏薄膜的分布式光纤 光栅湿度传感器 ＰＩ Ｂｒａ ｇｇ ＊ ， ， ， ， 周怡妃 梁大开 曾 捷 刘宏月 孙晓明 　 （ ， ） 南京航空航天大学机械结构强度与振动国家重点实验室 江苏南京 ２１００１６ ： （ ） （ ） 。 摘要 研究了基于聚酰亚胺 湿敏薄膜的分布式光纤 光栅 湿度传感器 传感器利用 薄膜湿 ＰＩ Ｂｒａ ＦＢＧ ＰＩ ｇｇ ， ， ， 膨胀效应 将湿应变作用于Ｂｒａ 栅区 从而改变光纤ＦＢＧ湿度传感器中心波长的原理 实现了对２６ ９８％ＲＨ ｇｇ ～ 。 ， ， 范围内环境相对湿度的监测 通过改进 湿敏薄膜的制备及涂覆工艺 有效提高了 湿度传感器性能 并 ＰＩ ＦＢＧ 。 ， ， 采取了相应温度补偿措施 在此基础上 针对空间多点湿度监测的实际需求 提出并研究了分布式ＦＢＧ湿度 。 ， ／ ， ， 传感系统 实验结果表明 所研制的ＦＢＧ湿度传感器灵敏度为 １５ ｍ ％ＲＨ 线性误差在２．７５％以内 且具有 ｐ 良好的重复性和稳定性。 ： （ ）； ； ； （ ）； 关键词 光纤Ｂｒａ 光栅 ＦＢＧ 湿度传感器 灵敏度 聚酰亚胺 ＰＩ 分布式监测 ｇｇ 中图分类号： 文献标识码：