一种片外驱动微拉伸测量技术研究.PDF

中国机械工程第 卷第 期 年 月上半月 20 7 2009 4 一种片外驱动微拉伸测量技术研究 张段芹 褚金奎 侯志武 王立鼎 暋 暋 暋 , , 大连理工大学 大连 116023 : , 。 摘要 针对微尺度下构件的力学性能测量问题 搭建一种片外驱动微拉伸测试装置 该测试装置具 , ; , 有高精度的力载荷与位移检测能力 精度分别达毫牛级和亚微米级 可在线标定装置的刚度系数 利用 。 、 弹簧串联模型获取试样的拉伸变形 在微构件轴向对准 夹持方面采用凹凸台载物片与松香 乙醇溶 - , 、 。 液粘合的方式 有效提高了微拉伸测试技术的精度 可靠性与重复性 利用该装置可测量微构件的弹性 、 。 暣 暤 , 模量 断裂强度等力学性能 用该装置测量了单晶硅梁在 110晶向上的弹性模量 并分析了装置的测 量误差。 : ; ; ; 关键词 微拉伸测试 轴向对准 弹性模量 单晶硅 中图分类号: 文章编号: — ( ) — — TB302暋暋暋 1004 132X200907 0860 05 AnOff-chiActuatedTensileTestDeviceforMicroscaleMechanicalTestin p g Zhan Duanin暋ChuJinkui暋Hon Zhiwu暋Wan Lidin g q g g g , , DalianUniversitofTechnolo Dalian 116023 y gy : AbstractAnoff-chiactuatedtensiletestdevicewasdeveloedforthemechanical roerties p p p p characterizationofmicromechanicalstructures.Aloadcellwitha0灡25mN- recisionlevelandadis灢 p lacementsensorwith0灡1m- recisionlevelwereeui ed.Elasticcoefficientofthetensiletester p