热蒸镀系统-浙江大学室与设备管理处.PDFVIP

40 聽 : : : : : : : 2015-03-26 聽 聽 聽 聽 20133 1 2 3 4 5405 6 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 聽 2 * * * * 1 * * MISUMI . 2 *1 00*100MM64.5 *64.5,,9 , . *; *,0 -60/ ; *,. 3 * FerrotecSMC, 4 *8 ,4,4 ; * , * ,. * 2, 1.44KW ,8V,180A,0.1%.; 2,11.44 K W,8V,180A,10.6KW,6V,100A;0.1%,; *8. 5 * *LC D * , 6 * 21, 1 0.01 A/S 7 * 300mmx300mmx570mm * ,DN8 0,, *, . * ,. * ; 8 * N2600 l/s5脳10-10mbar5 @ -5.0E-9mbar; @ 8 L/S @100,00 @:2. 5*10-5Pa @5.0*10-4Pa,15( ). 聽 聽3聽 //