基于ewod的数字微流控器件研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

Classified Index: TN409 U.D.C: 532.5 Dissertation for the Master Degree in Engineering RESEARCH ON DIGITAL MICROFLUIDIC DEVICE BASED ON EWOD Candidate： Gao Zhen Supervisor： Prof. Tan Xiaoyun Academic Degree Applied for： Speciality： Master of Engineering Microelectronics and Solid-state Electronics Affiliation： School of Astronautics Date of Defence： June, 2015 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 摘 摘 要 摘 要 近些年新兴的数字微流控技术凭借其结构简单、节省试样、易于集成、操 控范围广等优点，在化学、生物、医学及其他领域展现出巨大的发展潜力和应 用前景。本文通过理论分析、仿真优化、实验验证的方法对数字微流控技术进 行了初步的探讨。 首先，分析了各种数字微流控系统操控方法的优缺点，确定了利用介电润 湿效应来进行微液滴的驱动。介绍了介电润湿原理并建立了介电润湿效应的数 学模型，仿真了介电润湿效应效应的过程，同时对利用介电润湿效应实现微液 滴驱动的原理进行了详细的阐述。 其次，对系统进行了数学建模，并利用 COMSOL Multiphysics 4.4 分别对数 字微流控系统的静态性能和动态性能进行了模拟，仿真了系统的电势分布情况， 分析了介质层厚度等参数对数字微流控芯片的影响，验证了单极板结构的数字 微流控芯片比双极板结构的数字微流控芯片更容易实现微液滴的驱动，并在所 确定的结构和各参数的前提下模拟了微液滴的移动过程，从而为芯片的优化提 供了可靠的指导。 最后，根据仿真所确定的系统结构和参数制作了数字微流控芯片，利用湿 法刻蚀的工艺制作了 ITO 驱动电极，利用射频磁控溅射法淀积了 SiO2 介质层， 利用 CH3(CF2)7(CH2)2Si(OC2H5)3 制作了疏水层，并对芯片制作过程中的关键技 术及影响因素进行了探讨。根据系统的需求设计并焊接了数字微流控系统的控 制电路，并对电路的功能进行了验证。之后，搭建了数字微流控系统的测试平 台，并在 40V 电压下实现了微液滴的输运，验证了仿真结果的正确性以及数字 微流控系统的可行性，为数字微流控技术的进一步深入研究奠定了基础。 关键词：数字微流控系统；介电润湿效应；微液滴操控；COMSOL Multiphysics 仿真；射频磁控溅射法 - I - Ab Abstract Abstract In recent years, the emerging digital microfluidic technology has shown huge development potential and application prospect in chemistry, biology, medicine and other areas because of its advantage of simple structure, saving the sample, ease of integration, wide manipulate range and so on. This dissertation has preliminarily discussed the digital microfluidic technology through the method of theoretical analysis, simulation optimization and experimental verification. Firstly, the dissertation analyzed the advantages and disadvantages of various control method of digital microfluidic system, and then, determined to utilize the theory of electrowetting on dielectric(EWOD) to realize the micro droplet’s driven. Afterwards, the dissertation introduced the principle of EWOD, esta