固体物理实验方法Chapter 2 Vacuum..ppt

2、? 真空泵 真空泵浦為一有除去氣體機能的裝置。依其排除氣體的原理，可進一步區分為三大類： (i)氣體輸送係經由一階或多階的壓縮，例機械泵浦， (ii)氣體經由動量移轉而被侷限引導並輸送，例擴散泵浦，渦輪分子泵浦等及 (iii)氣體被束縛在大的低溫表面上，隨後並可經由加熱而釋出，例吸附泵浦等。 真空泵浦依其正常操作的壓力範圍又可區分為 (i)低真空泵浦(fore pumps，roughing pumps)，運作於黏滯流範圍。 (ii)高真空泵浦(high vaccum pumps)，運作於分子流範圍。 （1）气压范围 A. 粘性流动 气压10-4 Torr；平均自由程短；分子--分子碰撞较分子--壁碰撞的机会高，气体动量转移，净压力梯度；层状流动。 B、分子流动 气压10-4 Torr；平均自由程高；分子—壁碰撞机会较分子—分子碰撞机会多；没有气体的动量转移；几乎没有压力梯度； Kn=?/a Knudsen number ? ? = 平均自由程；a = 管子直径 Kn0.01粘性流动 0.01Kn1过渡流动(transitional flow) Kn1分子流动 肯德深數(Knudsens number) (2)??? 机械泵 1 atm - 10-3 Torr 费用低; 皮带驱动或直接由马达驱动 旋轉翼型是最常用的泵浦，由轉子(rotor)與兩滑動翼組成，滑動翼被彈簧壓著於外殼，排氣過程見圖十七，可單獨從大氣壓排氣到10-2或10-3 torr。旋轉泵浦之理論排氣速度為轉子旋轉所能排除的幾何學容積乘單位時間的旋轉數。 10-1 Torr – 10-10 Torr；昂贵的；当抽质量轻的气体分子时，效果不好； 渦輪分子泵浦構造頗似渦輪機(見圖二十八)，轉子上裝著刻有斜槽(葉片)的金屬圓盤，氣體分子衝撞高速旋轉的圓盤時，在某一定向獲得動量(見圖二十九)，而發生氣體流。此泵浦圓盤轉速很高，約24,000~60,000rpm，運作於分子流領域，因此在入口部圓盤斜槽較疏而在出口部圓盤斜槽較密，如圖三十所示 (3)??? 分子泵 (Turbomolecular pump) 擴散泵浦是一種蒸氣噴流泵浦(見圖二十四)，藉著氣體與蒸氣流碰撞的動量移轉來輸送氣體(見圖二十五)。這是高真空泵浦中最廣為使用的一種泵浦。 擴散泵浦係以高分子量的液體如水銀（汞）或矽油(Silicone oil)等在低壓力下加熱沸騰，其蒸氣呈分子流狀態，以超音速衝過噴嘴，並與氣體分子碰撞，使氣體分子得到一向下的動量分量而向下運動至前段手臂(fore arm)，蒸氣最終碰撞水冷卻之幫浦壁，並於幫浦壁上凝結而掉落至下方油槽，再經加熱器加熱沸騰而展開再一次的循迴。 (4)擴散泵浦(diffusion pump) 圖二十五　單階擴散泵浦之示意圖。空圈：蒸氣噴流分子，實圈：氣體分子。 图显示了一个没有烘烤的真空系统内气压与时间的关系。速率控制的过程决定最终可达到的真空度。在抽真空时，开始压力迅速地下降，然后下降速度变慢。 在表面脱附区域气相的主要分量可能是水；在低压区域可能是氢。 3. 获得超高真空 * * 第一章 真空技术 1Pa=1N/m2 旧的压力单位Torr: 1Torr=1mmHg 1大气压=760Torr 1Torr=133.3Pa 1Torr=1.33mbar SI单位Pa很少用 经常使用的单位是Torr 1.1 真空基本概念 真空单位 真空度的分类： 低真空 1-10-3 Torr 中度真空 10-3-10-5 Torr 超高真空 低于10-9 Torr 有理由有 2 点: 使试样在实验的时间范内保持清洁。 (2)??使电子束或离子束不受到气体分子散射的干扰。 下面我们将看各种参数随气压的变化 为什么研究需要真空？ 1、 气体密度 气体密度可以从理想气体定律估计 分子/m3 2、气相中分子的平均自由程 ?平均自由程 P气压，k玻尔兹曼常数，T温度（K） ?碰撞横切面积（M2） σ＝πδ2：碰撞截面積 δ：分子直徑 入射通量是在单位时间入射到单位面积表面上的分子数量。 在决定一个表面能得保持清洁多久的关键因素之一是气相分子在单位时间撞击单位面积表面的次数。 在给定条件下（P、T等）用统计物理、理想气体方程和M-B速度分布可以计算入射通量。 3、 在表面上的入射分子流（入射通量） 第一步 入射通量 F 与表面上气体密度有关 n气体密度，C分子的平均速度 第二步 分子密度由理想气体方程决定 第三步 分子的平均速度可用M-B速成分布计算 第四步