以快速成型技术研发制作机械式微泵浦与组装方法探讨.PDFVIP

行 精 類 行 年年 行 理 年  成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 以快速成型技術研發製作機械式微泵浦與組裝方法探討 計畫類別 ：■個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號 ：NSC 98－2221 －E －235 －011 － 執行期間 ： 98 年 8月 1日至 99 年 7月 31日 執行機構及系所 ：中州技術學院自動化控制系 計畫主持人 ：楊政穎 共同主持人 ： 計畫參與人員 ： 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交 ) ：■精簡報告 □完整報告 本計畫除繳交成果報告外 ，另須繳交以下出國心得報告 ： □赴國外出差或研習心得報告 □赴大陸地區出差或研習心得報告 □出席國際學術會議心得報告 □國際合作研究計畫國外研究報告 處理方式 ：除列管計畫及下列情形者外 ，得 立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權 ，□一年□二年後可公開查詢 中 華 民 國 99 年 9 月 25 日 1 摘要 本計劃 以快速成型技術製作機械式微泵浦 ，包括無閥門式與 球閥式兩種 ，並以壓電片蜂鳴器作為 驅動器 。首 先利用液態類快速成型技術 ，以光硬化樹脂為材料 ，一次或分次成型製作 出微流道結構 ， 再進行組合 並將壓電片蜂鳴器與之黏合 。除了 探討微泵浦之 性能外 ，另外亦嘗試不同的組裝黏合方式 。 本計劃成功地製作出”漸縮 /漸擴是無閥門微泵浦 ” 、 “平面流道球閥微泵浦 ”與”立體流道球閥微泵 浦 ”等 。這些微泵浦可以成功地以電壓 20~80Vpp 、頻率 20~180Hz之方波或弦波來驅動並輸送工作流體 (去離子水) 。此二類微泵浦均具有一圓形振動腔 ，其直徑16mm 、深350 μm ，其上方黏合一壓電片蜂鳴 器 ，趨使流體往復流動 。漸縮 /漸擴式無閥門微泵浦 之流道最窄處為200μm ，而球閥之圓球微粒採用直 3 徑 1000μm 、密度1.3g/cm之聚氯乙烯(PVC)微珠 。”漸縮 /漸擴式無閥門微泵浦 ”之基座採一體成型 ， 其製作較容易 ，其流道長為2400μm 、深250μm 、流道之漸縮端寬200μm ，擴散角度則為 8°，以電壓20Vpp 之方波即可驅動微泵浦輸送流體 。而當電壓80Vpp時 ，最佳頻率為 130Hz ，最大流量約為 530μl/min ， 最大背壓為 685Pa 。”平面流道式微球閥泵浦”之基座採一體成型 ，其製作較容易 ，當壓電片之驅動電 壓訊號為 80Vpp之方波時 ，最佳頻率為 50Hz ，最大背壓為 1214Pa ，最大流量約為 5089μl/min。”立體 圓錐流道式微球閥泵浦 ”之的振動腔体與球閥元件則須分開製作再進行組合 ，其製作較前者多一道程 序