柔性调平机构概念设计.pdf

2005年 7月 北 京 航 空 航 天 大 学 学 报 July摇 2005 摇 第31卷 第7期 Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics Vol.31摇 No郾7 柔性调平机构概念设计 余志伟摇 摇 于靖军摇 摇 孙明磊摇 摇 宗光华 (北京航空航天大学 机械工程及自动化学院,北京 100083) 摇 摇 摘摇 摇 摇 要:芯片之间的调平是保证对准精度的一个重要手段.针对目前微制 造领域中常用调平机构的缺点,提出了一种实用的柔性调平机构.该机构具有精度 高、速度快、结构紧凑、控制简单等优点.重点对机构的调平原理及其概念设计进行了 详细论述.在概念设计中,对机构的总体结构及其关键元件———柔性柱的结构进行了 设计与分析;为确定调平机构主要的设计参数,建立了原始尺寸、变形尺寸和应力三 个方面的约束条件.利用能量法对柔性柱的柔度进行了理论分析,通过商用有限元软 件ANSYS8.0 对其进行了仿真,从而验证了柔度公式的正确性.指出了在设计实现中 需要解决的若干关键问题. 关摇 键摇 词:调平;机构;概念设计;柔性铰链;对准 中图分类号:TH 112.5 文献标识码:A摇 摇 摇 摇 文 章 编 号:1001鄄5965(2005)07鄄0714鄄04 Conceptualdesignof compliant leveling mechanism Yu Zhiwei摇 Yu Jingjun摇 Sun Minglei摇 Zong Guanghua (School of Mechanical Engineering and Automation,Beijing University of Aeronautics and Astronautics,Beijing 100083,China) Abstract:Intheprocessof aligningtwowafers,levelingthemisavery important meansto ensureahigh aligning precision. A practical and compliant leveling mechanismto smooth away thefaultsexisting inpresent leveling mechanismswasproposedinthecourseof microfabrication. Thismechanismhastheadvantagesofthe high leveling precision,the short leveling time,the compact mechanical configuration,the simple movement control unit,etc. The leveling principle and its corresponding conceptual design were discussed. In the sec鄄 tion of conceptualdesign,themechanicalconfigurationandthestructureofthekeyparts (flexurehinge)used in the leveling mechanism were introduced,and restriction conditions were established as well for calculating main designparametersfromthefollowingthreeaspects:theoriginal鄄dimensionrestriction,thedeformative鄄di鄄 mension restrictionandthestressrestriction. Theelasticityofthekeypartwa