硅片生产一过程详解.docVIP

Page PAGE 31 of NUMPAGES 31 培训目的： 确定硅片生产过程整个目标； 为工艺过程确定一典型流程； 描述每个工艺步骤的目的； 在硅片生产过程中，硅片性能的三个主要关系的确定。 简介 硅片的准备过程从硅单晶棒开始，到清洁的抛光片结束，以能够在绝好的环境中使用。期间，从一单晶硅棒到加工成数片能满足特殊要求的硅片要经过很多流程和清洗步骤。除了有许多工艺步骤之外，整个过程几乎都要在无尘的环境中进行。硅片的加工从一相对较脏的环境开始，最终在10级净空房内完成。 工艺过程综述 硅片加工过程包括许多步骤。所有的步骤概括为三个主要种类：能修正物理性能如尺寸、形状、平整度、或一些体材料的性能；能减少不期望的表面损伤的数量；或能消除表面沾污和颗粒。硅片加工的主要的步骤如表1.1的典型流程所示。工艺步骤的顺序是很重要的，因为这些步骤的决定能使硅片受到尽可能少的损伤并且可以减少硅片的沾污。在以下的章节中，每一步骤都会得到详细介绍。 表1.1 硅片加工过程步骤 切片 激光标识 倒角 磨片 腐蚀 背损伤 边缘镜面抛光 预热清洗 抵抗稳定——退火 背封 粘片 抛光 检查前清洗 外观检查 金属清洗 擦片 激光检查 包装/货运 切片（class 500k） 硅片加工的介绍中，从单晶硅棒开始的第一个步骤就是切片。这一步骤的关键是如何在将单晶硅棒加工成硅片时尽可能地降低损耗，也就是要求